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酚醛树脂组合物、固化浮雕图案及半导体的制造方法技术
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下载酚醛树脂组合物、固化浮雕图案及半导体的制造方法的技术资料
文档序号:8687340
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本发明提供一种半导体元件表面保护膜或层间绝缘膜用的感光性树脂组合物,其在溶剂中含有以下成分:主链中具有联苯二基结构的酚醛树脂(A):100质量份;光产酸剂(B):1~30质量份;以及通过由上述光产酸剂(B)产生的酸或者通过热,能够与上述(A...
该专利属于旭化成电子材料株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过旭化成电子材料株式会社授权不得商用。
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