【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种在真空容器内传送基板的传送装置。
技术介绍
在真空气氛下加热基板的同时传送基板的传送装置被广泛使用。例如，在专利文献I中，公开有与所谓的腔内分配方式的传送装置有关的技术，所述腔内分配方式的传送装置中，每台真空容器I设置一台驱动马达，将来自设置于真空容器外的驱动马达的驱动力通过锥齿轮传递至设置于真空容器内的分配轴，并且，从该分配轴通过锥齿轮传递至分别安装有传送辊的多个旋转轴。 专利文献1:日本实开平1-129258号公报但是，在上述专利文献I的传送装置中，设置于真空容器内的构成组件较多，其结构复杂。并且，存在从驱动马达向各旋转轴分配驱动力的锥齿轮磨损之类的课题。针对这种课题,如图6及图7所示,可考虑到将通过各旋转轴56从驱动马达52向传送辊57分配驱动力的机构设置于真空容器61的外部的传送装置51。即，如图6及图7所示，传送装置51具备有驱动马达52、同步带轮53、同步带54、磁封轴承55、旋转轴56、传送辊57、反射板58、水冷管59及左右连结轴60。驱动马达52设置于真空容器61的外部。每台真空容器I设置一台驱动马达52。同步带轮53设置于真...
【技术保护点】
一种传送装置，该传送装置传送在真空容器内加热后的基板，其特征在于，具备：传送辊，配置于所述真空容器内，且传送所述基板；旋转轴，能够与所述传送辊传热地固定，且从所述真空容器内延伸至所述真空容器外；磁封轴承，配置于贯穿孔内，能够旋转地支承所述旋转轴，并且密封所述贯穿孔，该贯穿孔贯穿用于形成所述真空容器的壁；及冷却用通道，沿着轴向形成于所述旋转轴内，且从所述真空容器外延伸至所述真空容器内，用于使冷却介质流通。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：饭尾逸史，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：
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