本发明专利技术提供一种传送装置，谋求实现提高耐热性能。本发明专利技术的传送装置，在真空容器(31)内配置传送基板(42)的传送辊(18)，以从真空容器(31)内向真空容器(31)外延伸的方式配置能够与传送辊(18)传热地被固定的旋转轴(16)。并且，通过配置于真空容器(31)的贯穿孔(31f)的磁封(23)，能够旋转地支承旋转轴(16)。并且，在旋转轴(16)内形成从真空容器(31)遍及真空容器(31)内而在轴线方向上延伸的冷却用通道(17a)，使冷却介质在该通道流通。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种在真空容器内传送基板的传送装置。
技术介绍
在真空气氛下加热基板的同时传送基板的传送装置被广泛使用。例如，在专利文献I中，公开有与所谓的腔内分配方式的传送装置有关的技术，所述腔内分配方式的传送装置中，每台真空容器I设置一台驱动马达，将来自设置于真空容器外的驱动马达的驱动力通过锥齿轮传递至设置于真空容器内的分配轴，并且，从该分配轴通过锥齿轮传递至分别安装有传送辊的多个旋转轴。 专利文献1:日本实开平1-129258号公报但是，在上述专利文献I的传送装置中，设置于真空容器内的构成组件较多，其结构复杂。并且，存在从驱动马达向各旋转轴分配驱动力的锥齿轮磨损之类的课题。针对这种课题,如图6及图7所示,可考虑到将通过各旋转轴56从驱动马达52向传送辊57分配驱动力的机构设置于真空容器61的外部的传送装置51。即，如图6及图7所示，传送装置51具备有驱动马达52、同步带轮53、同步带54、磁封轴承55、旋转轴56、传送辊57、反射板58、水冷管59及左右连结轴60。驱动马达52设置于真空容器61的外部。每台真空容器I设置一台驱动马达52。同步带轮53设置于真空容器61的外部，且安装于后述的旋转轴56及驱动马达52的旋转轴52a。同步带54设置于真空容器61外，且架设于相互邻接的同步带轮53之间。通过基于该同步带54的连挂式连结，向相对于传送方向(图7所示的A方向)配置于右侧的各传送辊57分配来自驱动马达52的驱动力。并且，以上述的要领将驱动力传递至左右连结轴60，向相对于传送方向配置于左侧的各传送辊57分配来自驱动马达52的驱动力。磁封轴承55配置于贯穿孔61b内，该贯穿孔61b贯穿用于形成真空容器61的壁61a。磁封轴承55能够旋转地支承从真空容器61内向真空容器61外延伸的旋转轴56，并且密封贯穿孔61b来维持真空容器61内的真空状态。旋转轴56在真空容器61的外部被供应来自驱动马达52的驱动力，向真空容器61内的各传送辊57传递驱动力。传送辊57向铅垂方向支承载置有基板72的托盘71，并且通过由旋转轴56传递的驱动力旋转来传送托盘71。反射板58固定于真空容器61的内壁。反射板58以覆盖旋转轴56及传送辊57的方式配置，对旋转轴56及传送辊57进行防热。水冷管59接触配置于反射板58，通过使冷却介质流通来冷却反射板58。根据这种传送装置51，在真空容器61外设置向各传送辊57分配来自驱动马达52的驱动力的驱动力分配部分，由此能够使真空容器61内的结构简化。另外，在真空容器61外设置驱动力分配部分，由此能够代替锥齿轮使用很难在真空环境下使用的用于驱动力传递的传送带。由此，还能够消除锥齿轮磨损之类的课题。但是，在真空容器61内加热基板72的同时传送载置有基板72的托盘71的传送装置51中，为了对旋转轴56及传送辊57进行防热，需要配置多层反射板58和多个水冷管59。因此，要求提高耐热性能来进一步使真空容器61内的结构简化。
技术实现思路
本专利技术是为了解决这种课题而完成的，其目的在于提供一种能够提高耐热性能的传送装置。为了解决上述课题，本专利技术的传送装置是一种其传送在真空容器内加热后的基板的传送装置，其特征在于，具备传送辊，配置于真空容器内，且传送基板；旋转轴，能够与传送辊传热地固定，且从真空容器内延伸至真空容器外；磁封轴承，配置于贯穿孔内，能够旋转地支承旋转轴，并且密封贯穿孔，该贯穿孔贯穿用于形成真空容器的壁；及冷却用通道，沿着轴向形成于旋转轴内，且从真空容器外延伸至真空容器内，用于使冷却介质流通。在这种传送装置中，使冷却介质在形成于旋转轴内的冷却用通道流通，由此旋转轴的热传导至冷却介质，从而冷却旋转轴。另外，由于传送辊能够传热地固定于旋转轴，因此传送辊的热传导至旋转轴，旋转轴的热传导至在轴内流通的冷却介质。其结果，冷却传送辊及旋转轴，从而能够谋求提高耐热性能。冷却用通道例如包括插通于旋转轴的内部空间的冷却介质供应管和形成于冷却介质的外周面与旋转轴的内周面之间的间隙。另外，优选进一步具备对磁封轴承进行冷却的冷却机构。由此，在高温环境下也能够将填充于磁封轴承的磁性流体保持为良好的状态，因此能够维持良好的旋转性能。另外，优选进一步具备温度调整部件，相互接触地配置于传送辊与旋转轴之间，且调整传送辊与旋转轴之间的传热。当基板直接支承于传送辊上而被传送时，若该基板接触于传送辊，则将基板的热传导至已冷却的传送辊，从而冷却该基板。该传送装置中，由于通过温度调整部件调整从传送辊向旋转轴传导的热量，因此能够防止基板被过度冷却，且维持基板的适当的加热温度。专利技术效果根据本专利技术的传送装置，能够提高耐热性能。附图说明图1是表示第I实施方式所涉及的传送装置的结构的剖视图。图2是沿着图1所示的传送装置的I1-1I线的俯视剖视图。图3是表示图1所示的磁封轴承附近的结构的剖视图。图4是表示图1所示的旋转接头的结构的剖视图。图5是放大第2实施方式所涉及的传送装置中所含的传送辊附近的剖视图。图6是表示解决现有技术的课题的传送装置的结构的一例的剖视图。图7是沿着图6的传送装置的VI1-VII线的俯视剖视图。符号说明6-加热器，10-传送装置，11-动力传递机构，12-驱动马达，12a-输出轴，13A 13G-同步带轮，14A 14F-同步带，15-左右连结轴，16-旋转轴，16A-旋转轴主体，16B-转子，16f-载物台，17-旋转轴的内部空间，17a-排水路径(冷却用通道)，18-传送辊，19-温度调整部件，19b-内周面，19c-凹凸部，20-传送驱动机构，21-磁封轴承单元，22-壳体，22a-法兰，22b-贯穿孔(冷却机构)，23-磁封，24-轴承，25-永久磁铁，26A，26B-极片，27，28-0型圈，31-真空容器，31a-正面壁，31b背面壁，31c_侧壁，31d_顶板，31e-底板，31f-贯穿孔，31g-开闭出入口，32-支架，33-反射板，34-冷却水管，35-旋转接头，36-外壳，36a-支管台，37a-排水流道，37b-开口部，38-轴承，39-弹簧，41-托盘，42-基板，45-冷却水供应管，46、47-配管。具体实施例方式(第I实施方式)·参考附图对本专利技术所涉及的传送装置的优选的第I实施方式进行说明。另外，在说明中，对相同要件或具有相同功能的要件，使用相同符号而省略重复说明。图1是表示第I实施方式所涉及的传送装置的结构的剖视图。图2是沿着图1所示的传送装置的I1-1I线的俯视剖视图。图3是表示图1所示的磁封轴承附近的结构的剖视图。图4是表示图1所示的旋转接头的结构的剖视图。图1及图2所示的传送装置10，例如应用于对基板进行成膜的成膜装置，且传送真空容器31内的基板42。真空容器31呈箱形，具备有形成于基板42的传送路径的入口侧的正面壁31a(参考图2);形成于传送路径的出口侧的背面壁31b ;设置于传送路径的两侧(图示左右方向的两侧)的一对侧壁31c、31c ;设置于传送路径的上方的顶板31d(参考图1);及设置于传送路径的下方的底板31e。并且，真空容器31由支架32从下方支承。另外，在正面壁31a及背面壁31b上设置有基板42所通过的开闭出入口 31g、31g(参考图2)。并且，真空容器31内因本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种传送装置，该传送装置传送在真空容器内加热后的基板，其特征在于，具备：传送辊，配置于所述真空容器内，且传送所述基板；旋转轴，能够与所述传送辊传热地固定，且从所述真空容器内延伸至所述真空容器外；磁封轴承，配置于贯穿孔内，能够旋转地支承所述旋转轴，并且密封所述贯穿孔，该贯穿孔贯穿用于形成所述真空容器的壁；及冷却用通道，沿着轴向形成于所述旋转轴内，且从所述真空容器外延伸至所述真空容器内，用于使冷却介质流通。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：饭尾逸史，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：
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