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本发明提供一种传送装置，谋求实现提高耐热性能。本发明的传送装置，在真空容器(31)内配置传送基板(42)的传送辊(18)，以从真空容器(31)内向真空容器(31)外延伸的方式配置能够与传送辊(18)传热地被固定的旋转轴(16)。并且，通过配...
该专利属于住友重机械工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友重机械工业株式会社授权不得商用。

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