【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种周边曝光机,具体涉及一种周边曝光机的传送机构。
技术介绍
周边曝光机在完成周边曝光动作后,传送机构上升将基板传至显影单元,基板传片完成后,传送机构下降回归至下限位置。若传送机构高度异常易导致基板破片,严重的会造成升降气缸损坏异常。目前监控传送机构的主要方式是三种:通过维护保养时点检,测量传送机构水平距离平台支撑高度;日常点检,主要用过目测观察是否有异常;正常生产过程中,通过升降气缸高度是否有异常判断。上述三种监控方式对应存在以下问题:1、通过维护保养时测量传送机构距离平台支撑的高度来判断,需要多人操作,测量较多点位,维护保养工时长,维护保养时间增加;2、日常点检时肉眼观察误差较大,反馈笼统,异常不能及时发现;3、如果通过升降气缸状态监控,当气缸状态异常报警时,此时气缸已经磨损严重,需及时更换,无法及时发现传送机构的异常。
技术实现思路
专利技术目的:本专利技术的目的在于针对现有技术的不足,提供一种周边曝光传送机构下垂监控装置及其监控方法,能够及时、准确且便捷的发现传送机构是否发生下垂情况并做出报警。技术方案:一种周边曝光传送机构下垂监控装置,在传送机构的两侧安装光纤传感器,所述光纤传感器设置在低于传送机构底面7~12mm且距离传送机构完全伸出后前端2~4.5cm的位置,所述光纤传感器将检测到的光感信号发送给PLC处理单元,PLC处理单元判断传送机构发生下垂并控制触摸屏进行报警。进一步,所述光纤传感器的感光度下限为50~100MJ,感度灵敏且可避免误报警。一种周边曝光传送机构下垂监控装置的监控方法,曝光完成的基板承载于传送机构上,传送机构完全 ...
【技术保护点】
一种周边曝光传送机构下垂监控装置,其特征在于:在传送机构的两侧安装光纤传感器,所述光纤传感器设置在低于传送机构底面7~12mm且在传送机构完全伸出后距离其最前端2~4.5cm的位置,所述光纤传感器将检测到的光感信号发送给PLC处理单元,PLC处理单元判断传送机构发生下垂并控制触摸屏进行报警。
【技术特征摘要】
1.一种周边曝光传送机构下垂监控装置,其特征在于:在传送机构的两侧安装光纤传感器,所述光纤传感器设置在低于传送机构底面7~12mm且在传送机构完全伸出后距离其最前端2~4.5cm的位置,所述光纤传感器将检测到的光感信号发送给PLC处理单元,PLC处理单元判断传送机构发生下垂并控制触摸屏进行报警。2.根据权利要求1所述的周边曝光传送机构下垂监控装置,其特征在于:所述光纤传感器的感光度下限为50~100MJ。3.根据权利要求1所述的周边曝光传送机构下垂监控装置的监控方法,其特征在于:曝光完成的基板承载于传送机构上,传送机构完全伸出后,若传送机构发生下垂时两侧光纤传感器的光被遮住,光纤传感器将检测到的光感信号发送给PLC处理单元,PLC处理单元将有无遮挡的光感信号转换成数字信号,当出现下垂的数字...
【专利技术属性】
技术研发人员:王祝青,
申请(专利权)人:南京华东电子信息科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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