光源装置、放电灯及其制造方法、以及曝光装置制造方法及图纸

一种光源装置，用于使放电灯发光，放电灯具有在内部设有阳极及阴极的玻璃管和相对于其发光部而分别设在阳极侧及阴极侧的灯座部，光源装置具备：保管放电灯的保管部；能够装拆地支承放电灯的灯座部的支承部件；将电缆能够装拆地连结到支承于支承部件的放电灯的灯座部的夹紧机构；和在基于支承部件对灯座部的支承及基于夹紧机构实现的电缆相对于灯座部的连结被解除的状态下，保持着灯座部地在保管部与支承部件之间搬送放电灯的灯搬送系统。能够高效地进行放电灯的更换。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及放电灯、放电灯的制造方法、放电灯的更换方法及点亮方法、具备放电灯的光源装置、具备该光源装置的曝光装置、以及使用曝光装置的器件制造方法。
技术介绍
在用于制造各种器件(液晶显示器件或半导体器件等)的光刻工序中，为了将形成于光罩的图案向涂布有感光材料的基板(玻璃板或半导体晶片等)转印而使用一次曝光型的投影曝光装置及扫描曝光型的投影曝光装置等曝光装置，在这些曝光装置中，存在具备将超高压水银灯等放电灯和聚光镜组合而构成的曝光用光源装置的类型。在以往的光源装置中，存在如下光源装置：在放电灯的一方的灯座上设置凸缘部及层差部，在设有开口的基座部的表面上载置了该凸缘部的状态下，在该开口内用杆部件等对该层差部向下方施力，由此将该放电灯固定(例如，参照专利文献1)。另外，曝光装置用的放电灯若使用超过预先设定的容许时间，则可能因照度降低而导致曝光性能(析像度等)恶化。因此，在放电灯的累计使用时间经过了其容许时间时，作业者通过手动作业将该放电灯更换为未使用的放电灯。现有技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2007/066947号小册子
技术实现思路
在曝光装置中使用下的放电灯变为高温，因此在作业者通过手动作业更换放电灯的情况下，需要在放电灯熄灭后、间隔例如30分钟以上的时间后进行作业。因此，曝光装置的停歇时间变长，曝光工序的生产能力(生产率)降低。另外，最近的扫描曝光型的曝光装置为了提高生产能力，而以曝光用光对光罩的更大面积的照明区域进行照明，并且，为了谋求更高速地对光罩进行扫描，而需要从光源装置供给照度更高的光。为此，考虑例如配置多个放电灯，将来自这些多个放电灯的光合成来使用。但是，在光源装置具有多个放电灯的情况下，由于放电灯的更换频度增加，所以曝光装置的停歇时间进一步变长，担心会抑制生产能力的提高。根据本专利技术的第1方案，提供一种光源装置，用于使放电灯发光，该放电灯具有在内部设有用于形成发光部的第1电极及第2电极的玻璃部件、和相对于上述发光部分别设在上述玻璃部件的上述第1电极侧及上述第2电极侧的第1灯座部件及第2灯座部件，该光源装置具备：保管部，其保管上述放电灯；支承部，其能够装拆地支承上述放电灯的上述第2灯座部件；连结部，其将传递电力的部件能够装拆地连结到支承于上述支承部的上述放电灯的上述第1灯座部件；和搬送部，其在基于上述支承部对上述第2灯座部件的支承及基于上述连结部实现的上述传递电力的部件相对于上述第1灯座部件的连结被解除的状态下，保持着上述第1灯座部件地在上述保管部与上述支承部之间搬送上述放电灯。根据第2方案，提供一种更换放电灯的更换方法，该放电灯具有形成发光部的玻璃部件、和以夹持该玻璃部件的方式设置的第1灯座部件及第2灯座部件，该更换方法包括：使与上述放电灯的上述第1灯座部件的被连结部面接触并且连结有传递电力的部件的部件从上述被连结部脱离；使上述放电灯的上述第2灯座部件从支承部件能够脱离；和保持着上述放电灯的上述第1灯座部件的包含非平面部的被保持部地将上述放电灯向保管部搬送。根据第3方案，提供一种点亮放电灯的点亮方法，该放电灯具有形成发光部的玻璃部件、和以夹持该玻璃部件的方式设置的第1灯座部件及第2灯座部件，该点亮方法包括：使连结有传递电力的部件的部件与上述放电灯的上述第1灯座部件的被连结部面接触；通过能够供给电力的支承部件来支承上述放电灯的上述第2灯座部件；和经由上述传递电力的部件及上述支承部件向上述放电灯供给电力来点亮上述放电灯。根据第4方案，提供一种放电灯，具有：在内部设有用于形成发光部的第1电极及第2电极的玻璃部件；和相对于上述发光部而分别设在上述玻璃部件的第1电极侧及第2电极侧的第1灯座部件及第2灯座部件，上述第1灯座部件具有：被连结部，其能够与传递电力的部件接触，并且能够与该部件面接触以减小被连结部与该部件的电接触电阻；和被保持部，其包含能够由搬送部保持的非平面部或倾斜部。根据第5方案，提供一种本专利技术的方案的放电灯的制造方法，包括：制造在两端连结有导电性部件的上述玻璃部件；制造形成有上述被连结部及上述被保持部的被覆部件；和以覆盖上述玻璃部件的一端侧的上述导电性部件的方式固定上述被覆部件。根据第6方案，提供一种本专利技术的方案的放电灯的制造方法，包括：准备在一端设有与上述第1电极或上述第2电极电连接的第1导电性部件的上述玻璃部件；准备形成有上述被连结部及上述被保持部的第2导电性部件；和将上述第2导电性部件与上述玻璃部件的一端侧的上述第1导电性部件连结。根据第7方案，提供一种曝光装置，具备：本专利技术的方案的光源装置；通过从上述光源装置的上述放电灯产生的光对光罩进行照明的照明系统；和将上述光罩的图案的像投影到基板上的投影光学系统。根据第8方案，提供一种器件制造方法，包括：使用本专利技术的方案的曝光装置在基板上形成感光层的图案；和对形成有上述图案的上述基板进行处理。附图说明图1是表示第1实施方式的曝光装置的概略结构的图。图2的(A)是表示图1中的放电灯的图，(B)是表示图2的(A)的阳极侧的灯座部的放大立体图，(C)是沿着图2的(A)的CC线的剖视图。图3的(A)是阳极侧的灯座部的从两个方向观察到的图，(B)、(C)、(D)及(E)分别是第1、第2、第3及第4变形例的阳极侧的灯座部的从两个方向观察到的图。图4的(A)是表示图1中的光源装置的、将一部分切除后的俯视图，(B)是表示图4的(A)的光源装置的、将一部分切除后的侧视图。图5是表示放电灯的阳极侧灯座部及夹紧机构的立体图。图6的(A)是表示使滑动部移动的过程中的光源装置的、将一部分切除后的俯视图，(B)是表示图5的(A)的光源装置的、将一部分切除后的侧视图。图7的(A)是表示将放电灯的阳极侧灯座部夹持的状态的图，(B)是表示解除对灯座部的夹持的状态的图。图8是表示光源装置的、将一部分切除后的侧视图。图9的(A)是表示通过灯握持爪来抓持阳极侧灯座部的状态的俯视图，(B)是图9的(A)的侧视图。图10的(A)是表示使放电灯移动的过程中的光源装置的、将一部分切除后的俯视图，(B)是表示图10的(A)的光源装置的、将一部分切除后的侧视图。图11是表示灯保管用转盘的定位部的图。图12是表示制造中的放电灯的、将一部分切除后的分解图。图13的(A)是表示变形例的阳极侧灯座部的夹紧机构的一部分的俯视图，(B)是图13的(A)的侧视图。图14的(A)是表示其他变形例的阳极侧灯座部的夹紧机构的、将一部分切除后的侧视图，(B)是表示解除对阳极侧灯座部的夹持的状态的、将一部分切除后的侧视图。图15是表示解除对阴极侧灯座部的夹持的状态的、将一部分切除后的侧视图。图16是表示第2实施方式的光源装置的、将一部分切除后的侧视图。图17是表示将滑动部引出的状态的、将一部分切除后的侧视图。图18是表示第2实施方式的变形例的光源装置的、将一部分切除后的侧视图。图19的(A)是表示第3实施方式的放电灯的图，(B)是表示将图19的(A)的阳极侧的灯座部夹持的状态的剖视图。图20的(A)是表示第3实施方式的光源装置的、将一部分切除后的俯视图，(B)是表示图20的(A)的光源装置的、将一部分切除后的侧视图。图21是表示将滑动部引出的状态的、将一部分切除后的侧视图。图22的(A)是表示与本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光源装置，用于使放电灯发光，该放电灯具有在内部设有用于形成发光部的第1电极及第2电极的玻璃部件、和相对于所述发光部分别设在所述玻璃部件的所述第1电极侧及所述第2电极侧的第1灯座部件及第2灯座部件，所述光源装置的特征在于，具备：保管部，其保管所述放电灯；支承部，其能够装拆地支承所述放电灯的所述第2灯座部件；连结部，其将传递电力的部件能够装拆地连结到支承于所述支承部的所述放电灯的所述第1灯座部件；和搬送部，其在基于所述支承部对所述第2灯座部件的支承及基于所述连结部实现的所述传递电力的部件相对于所述第1灯座部件的连结被解除的状态下，保持着所述第1灯座部件地在所述保管部与所述支承部之间搬送所述放电灯。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.03.28 JP 2014-0706091.一种光源装置，用于使放电灯发光，该放电灯具有在内部设有用于形成发光部的第1电极及第2电极的玻璃部件、和相对于所述发光部分别设在所述玻璃部件的所述第1电极侧及所述第2电极侧的第1灯座部件及第2灯座部件，所述光源装置的特征在于，具备：保管部，其保管所述放电灯；支承部，其能够装拆地支承所述放电灯的所述第2灯座部件；连结部，其将传递电力的部件能够装拆地连结到支承于所述支承部的所述放电灯的所述第1灯座部件；和搬送部，其在基于所述支承部对所述第2灯座部件的支承及基于所述连结部实现的所述传递电力的部件相对于所述第1灯座部件的连结被解除的状态下，保持着所述第1灯座部件地在所述保管部与所述支承部之间搬送所述放电灯。2.如权利要求1所述的光源装置，其特征在于，在所述保管部中保管有未使用的放电灯，所述搬送部保持着所述未使用的放电灯的所述第1灯座部件地将该未使用的放电灯搬送到该未使用的放电灯的所述第2灯座部件能够由所述支承部支承的位置。3.如权利要求1或2所述的光源装置，其特征在于，所述放电灯的所述第1灯座部件具有：被连结部，其能够与所述传递电力的部件接触，并且能够与该部件面接触以减小该被连结部与该部件的电接触电阻；和被保持部，其包含能够由所述搬送部保持的非平面部或倾斜部。4.如权利要求3所述的光源装置，其特征在于，所述第1灯座部件的所述被连结部包含以交叉方式配置的两个平面部，所述连结部具有：导电性的第1部件，该第1部件与所述传递电力的部件连接、并且设有能够与所述第1灯座部件的所述被连结部接触的V字型的槽；和能够对所述第1灯座部件向所述第1部件侧施力的第2部件。5.如权利要求4所述的光源装置，其特征在于，所述连结部具有第1引导部件，该第1引导部件将所述第1部件以能够在沿着与所述第1灯座部件的所述被连结部的两个平面部垂直的平面的方向上位移的方式支承。6.如权利要求4或5所述的光源装置，其特征在于，所述连结部具有第2引导部件，该第2引导部件将所述第1部件以能够在沿着所述第1灯座部件的所述被连结部的两个平面部的方向上位移的方式支承。7.如权利要求3所述的光源装置，其特征在于，所述第1灯座部件的所述被连结部包含大致轴对称的面，所述连结部具有：环状的导电性的第1部件，该第1部件与所述传递电力的部件连接、并且能够与所述第1灯座部件的所述被连结部接触；和能够对所述第1灯座部件向所述第1部件侧施力的第2部件。8.如权利要求7所述的光源装置，其特征在于，所述第1灯座部件的所述被连结部具有大致轴对称的凹部，所述第2部件具有圆筒状的前端部、和与所述前端部相比内径逐渐变大的轴对称的锥部，所述连结部具有能够夹装在所述第2部件的所述前端部或所述锥部与所述第1灯座部件的所述凹部之间的多个球体，在所述多个球体处于所述第2部件的所述锥部内时，所述连结部能够从所述第1灯座部件脱离。9.如权利要求3至8中任一项所述的光源装置，其特征在于，在所述第1灯座部件的所述被保持部上形成有孔部，所述搬送部具备：装卸部，该装卸部具有能够与所述第1灯座部件的所述被保持部的孔部卡合的突部、且夹持地保持所述第1灯座部件；和移动部，该移动部在所述装卸部保持着所述第1灯座部件的所述被保持部的状态下使所述装卸部移动。10.如权利要求3至8中任一项所述的光源装置，其特征在于，所述第1灯座部件的所述被保持部具有表面为球面状的轴对称部，所述搬送部具有：装卸部，其能够以夹持方式保持所述第1灯座部件的所述被保持部；缓冲部，其根据所述装卸部与所述第1灯座部件之间的角度偏移而位移；和移动部，其在所述装卸部保持着所述第1灯座部件的所述被保持部的状态下，使所述装卸部及所述缓冲部移动。11.如权利要求1至10中任一项所述的光源装置，其特征在于，具备滑动部，该滑动部将所述放电灯及所述保持部一体地移动到所述搬送部能够保持所述放电灯的所述第1灯座部件的位置。12.如权利要求1至11中任一项所述的光源装置，其特征在于，所述第2灯座部件具有凸缘部及层差部，所述支承部具有：支承部件，该支承部件经由所述第2灯座部件的所述凸缘部而支承所述第2灯座部件；和第1杆部件，该第1杆部件将所述第2灯座部件以能够经由所述第2灯座部件的所述层差部相对于所述支承部件灯座装拆的方式固定于所述支承部件，所述连结部具有：与所述传递电力的部件连接、并且能够与所述第1灯座部件接触的导电性部件；和能够对所述第1灯座部件向所述导电性部件侧施力的第2杆部件，所述光源装置具备驱动所述第1杆部件及第2杆部件的共用的驱动部。13.如权利要求1至12中任一项所述的光源装置，其特征在于，所述保管部配置在比配置有所述连结部、所述保持部及所述搬送部的第1层...

【专利技术属性】
技术研发人员：青木保夫，菊池孝幸，白数广，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本;JP