【技术实现步骤摘要】
EUV光源放电电极的液态金属高效冷却方法与装置
本专利技术属于高温发热装置冷却领域,具体涉及用于EUV光源放电电极的液态金属高效冷却方法与装置。
技术介绍
在半导体工业中,极紫外光刻技术被认为是22-16nm节点的主流光刻技术。EUV光源是其重要组成部件之一,其中,DPP-EUV光源是现阶段13.5nm波段的主流光源之一,DPP-EUV光源是利用放电使Xe介质形成等离子体,辐射出紫外线,利用多层膜反射镜多次反射净化能谱,获得13.5nm波段的EUV光。光源内部放电电极在工作时的局部温度可达2000-2500℃,如果温度累计,将会对放电电极造成不可修复的损害,降低使用寿命,增加维护困难以及成本,最重要的是造成光源不能正常工作,影响工业生产和实验进程。因此,需要加入冷却系统将放电电极的多余热量排出。以往采用水冷却的方法对放电电极的多余热量进行冷却,例如YusukeTeramoto等人设计的DPP-EUV光源中的水冷结构示意图,文献为《HighrepetitionrateMPCgenerator-drivencapillaryZ-pinchEUVsource》。从图1中可以看出,整套水冷系统主要包括电极内部的水冷和外部冷却水循环两个部分,外部的冷却水循环系统主要包含压力泵和散热水池等。整套水冷装置较大,空间利用率低,而且由于水的特性,只能采用压力泵对其进行驱动,给系统带来了更多的机械振动,会对EUV光源造成不可预估的损害。
技术实现思路
本专利技术为了解决现有水冷却冷却效率低和空间利用率低的缺点,提供一种EUV光源放电电极的液态金属高效冷却方法与装置,可有效解决光源 ...
【技术保护点】
用于EUV光源放电电极的液态金属高效冷却装置,其包括电扇(1)、包层管道(2)、隔热板(3)、散热基底(4)、液态金属(5)和电磁泵(6),其特征是,DPP‑EUV光源的放电电极安装在散热基底(4)上;包层管道(2)安装在散热基底(4)内,包层管道(2)内采取全封闭模式,包层管道(2)通入液态金属(5);电磁泵(6)设置在包层管道(2)的一端,液态金属(5)的循环流动动力由电磁泵(6)提供,隔热板(3)将散热基底(4)与电扇(1)隔开,电扇(1)对液态金属(5)进行强对流散热。
【技术特征摘要】
1.用于EUV光源放电电极的液态金属高效冷却装置,其包括电扇(1)、包层管道(2)、隔热板(3)、散热基底(4)、液态金属(5)和电磁泵(6),其特征是,DPP-EUV光源的放电电极安装在散热基底(4)上;包层管道(2)安装在散热基底(4)内,包层管道(2)内采取全封闭模式,包层管道(2)通入液态金属(5);包层管道(2)为金属材质;电磁泵(6)设置在包层管道(2)的一端,液态金属(5)的循环流动动力由电磁泵(6)提供,隔热板(3)将散热基底(4)与电扇(1)隔开,电扇(1)对液态金属(5)进行强对流散热。2.根据权利要求1所述的用于EUV光源放电电极的液态金属高效冷却装置,其特征是,所述包层管道(2)风冷部分为弯转形。3.根据权利要求1所述的用于EUV光...
【专利技术属性】
技术研发人员:卢启鹏,宋源,龚学鹏,王依,
申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,
类型:发明
国别省市:吉林;22
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