【技术实现步骤摘要】
本技术属于气体激光
，具体涉及一种气体激光光源的放电腔。
技术介绍
气体放电激光光源的核心关键部件就是放电腔。放电腔具有一定腔型，维持其内部工作气体的正常放电和系统稳定出光。放电腔一般由腔体结构、风机系统、放电系统和冷却系统组成。放电腔在每次放电之后都会产生放电尘埃，影响下一次的放电效果。风机系统能将放电尘埃带走，并通过除尘装置清洁放电腔内部的循环工作气体。放电系统一般由主放电系统和预电离系统组成。 目前在风机系统中一般使用贯流叶轮。出风口轴向风速不均匀是贯流叶轮的很大缺点。此外，当放电腔工作在更高重复频率时要求阴阳电极间有更高的气体流速，也即要求贯流叶轮工作在更高转速或贯流叶轮有更大直径；这会带来贯流叶轮在高速下转动时不平衡的问题，以及转速或直径增大后叶轮的周向叶片处的失速问题，从而产生激波和噪音，影响放电腔的放电和出光。目前使用的除尘装置一般外挂在放电腔上，通过小孔导入部分工作气体，采用静电吸附的方式净化清洁这部分工作气体。这只能清洁一小部分工作气体，绝大部分放电尘埃还存在于放电腔内随着工作气体在腔内循环流动。这样会影响放电腔的使用寿命。目前使用的预电...
【技术保护点】
一种气体激光光源的放电腔，包括风机、导流片、热交换器、电极、导流吸尘板和均匀丝网，其特征在于，所述风机为双转子风机，所述双转子风机依靠一个电机驱动实现双转子的正反方向旋转。
【技术特征摘要】
1.一种气体激光光源的放电腔，包括风机、导流片、热交换器、电极、导流吸尘板和均匀丝网，其特征在于，所述风机为双转子风机，所述双转子风机依靠一个电机驱动实现双转子的正反方向旋转。2.如权利要求1所述的气体激光光源的放电腔，其特征还在于，在光轴方向上布置多个风机，通过调节不同风机的转速，达到阴阳电极间工作气体光轴方向流速的均匀性要求。3.如权利要求1所述的气体激光光源的放电腔，其特征还在于，所述导流吸尘板是由多组薄板组成，使放电区域流场更均匀。4.如权利要求3所述的气体激光光源的放电腔，其特征还在于，所述导流吸尘板间隔交错分别与该气体放电腔的上下基板相连，可以在上下基板上分别加载不同电压，在薄板间流过的工作气体中的放电杂质被静电吸附在薄板上，达到净化全部工作气体的目的。5.如权利要求4所述的气体激光光源的放电腔，其特征还在于，所述导流吸尘板加载电压后形成平板电容阵，可以部分电离工作气体。6.如权利要求1所述的气体激光光源的放电腔，其特征还在于，所述双转子的每个转子上都有扇叶，安装于一个转子上的扇叶为一组扇叶，安装于另一个转子上的扇叶为另一组扇叶，通过不同的扇叶面型及安装方式，使正反方向旋转的两组扇叶在同一方向上驱动气体流动。7.如权利要求1所述的气体激光光源的放电腔，其特征还在于，所述电机为陶瓷电机。8.如权利要求1所述的气体激光光源的放电腔，其特征还在于，通过外部遥控操作电机。9.如权利要求1所述的气体激光光源的放电腔，其特征还在于，远离电机端的转子上安装有整流头，且...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈进新，王宇，
申请(专利权)人：中国科学院光电研究院，
类型：实用新型
国别省市：
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