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气体激光光源的放电腔制造技术
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文档序号:8581896
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本实用新型公开了一种新型气体放电腔,包括风机、导流片、热交换器、电极、导流吸尘板和均匀丝网。该气体放电腔采用轴流风机、导流吸尘板和均匀丝网等,降低了噪音和激波的产生,减少了声场对放电腔的影响,并使放电区域流速更大、流场更均匀。布置在放电腔体...
该专利属于中国科学院光电研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电研究院授权不得商用。
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