一种多晶硅还原炉用隔热罩及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种多晶硅还原炉用隔热罩及其制备方法，包括筒状底节、筒状中节和筒状顶节且三者由下至上组装成一个同轴安装于多晶硅还原炉内的筒状隔热罩体，筒状底节与其上部相邻的筒状中节之间、筒状顶节与其下部相邻的筒状中节之间以及上下相邻两个筒状中节之间均通过止口连接，筒状底节、筒状中节和筒状顶节的顶底部外侧均设有环形凸台；其制备方法包括步骤：需制备筒状隔热罩体尺寸确定、预制体尺寸确定、预制体制作、预制体烘干硬化定型、化学气相渗透增密处理、机加工处理和化学气相沉积涂层处理。本发明专利技术结构设计合理、实用价值高、制备步骤简便且制备效率高、效果好，所制备的隔热罩各方面性能优异。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于炭/炭复合材料应用
，尤其是涉及。
技术介绍
当前，迫于严峻的能源资源形势，基于对可再生能源的强烈需求，太阳能光伏行业迅猛发展，而多晶硅是太阳能光伏产品最基本的原材料。改良西门子法是当前应用最广的多晶硅生产工艺方法，还原炉是该方法所采用的重要设备。降低还原炉能耗对于提高多晶硅生产效益以至促进光伏行业发展是至关重要的，因而寻找一种耐高温、隔热性好又适应还原炉反应环境的隔热保温产品是最直接有效的节能降耗思路。炭/炭复合材料因其诸 多优异性能，如密度低、比强度高、耐高温、耐腐蚀、抗热冲击、热膨胀量小以及可设计性好等，已跳出仅有的航空航天领域，受到越来越多领域的青睐，也恰到好处地符合了多晶硅还原炉节能降耗的要求。国内外对还原炉隔热罩也有过一些探索和应用，主要有石英、石墨、炭/炭板材和复合炭毡等材质的隔热罩。其中，石英和石墨产品热导率高，节能效果不佳，材质脆弱，经受热冲击、气体腐蚀或机械碰撞后容易碎裂，且受加工成型方式限制，不能制备大尺寸隔热罩。而炭/炭板材一般采用拼接固定的方式组合成整体，整体性差，容易变形，节能效果也不好。复合炭毡在使用时容易分层，寿命短，更换频繁。2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶硅还原炉用隔热罩，其特征在于：包括筒状底节（1）和扣装于筒状底节（1）上的筒状顶节（3），所述筒状底节（1）和筒状顶节（3）的外径和壁厚均相同，所述筒状底节（1）和筒状顶节（3）的外径均为1000mm～3000mm且二者的高度均为300mm～1000mm，所述筒状顶节（3）的底部与筒状底节（1）的顶部之间通过止口（11）进行连接；所述筒状底节（1）和所述筒状顶节（3）的顶底部外侧均沿圆周设置有一道环形凸台（10），所述环形凸台（10）的高度为20mm～100mm且其厚度为1mm～5mm；所述筒状底节（1）和筒状顶节（3）组装成一个同轴安装于多晶硅还原炉（6）内的筒状隔热罩体。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：肖志超，苏君明，侯卫权，张瑞，谢英姿，聂道俊，李永军，薛宁娟，
申请(专利权)人：西安超码科技有限公司，
类型：发明
国别省市：