下载一种多晶硅还原炉用隔热罩及其制备方法的技术资料

文档序号:8482639

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本发明公开了一种多晶硅还原炉用隔热罩及其制备方法,包括筒状底节、筒状中节和筒状顶节且三者由下至上组装成一个同轴安装于多晶硅还原炉内的筒状隔热罩体,筒状底节与其上部相邻的筒状中节之间、筒状顶节与其下部相邻的筒状中节之间以及上下相邻两个筒状中节...
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