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一种多晶硅还原炉用隔热罩及其制备方法技术
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文档序号:8482639
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本发明公开了一种多晶硅还原炉用隔热罩及其制备方法,包括筒状底节、筒状中节和筒状顶节且三者由下至上组装成一个同轴安装于多晶硅还原炉内的筒状隔热罩体,筒状底节与其上部相邻的筒状中节之间、筒状顶节与其下部相邻的筒状中节之间以及上下相邻两个筒状中节...
该专利属于西安超码科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安超码科技有限公司授权不得商用。
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