【技术实现步骤摘要】
机器人、机器人的设置方法和制造装置
公开的实施方式涉及机器人、机器人的设置方法和制造装置。
技术介绍
以往，公知有搬送工件的机器人。作为搬送机器人公知有例如水平多关节机器人， 该水平多关节机器人利用在水平方向伸缩的臂来搬送工件(参照专利文献I)。搬送机器人例如在半导体制造装置或液晶制造装置等中用于搬送半导体晶片或 玻璃基板等工件。在这种装置中对工件的处理多在减压后的真空罩内进行。因此，搬送机 器人也多配置在真空罩内。在将搬送机器人组装到真空罩的情况下，例如利用桥式起重器等起重器装置吊起 搬送机器人移动到真空罩的上方之后，使起重器装置下降并将搬送机器人搬入真空罩内。专利文献1:日本特许第3881579号公报可是，近年来玻璃基板或半导体晶片等工件逐渐大型化，并且搬送机器人和真空 罩伴随这些工件的大型化也变得大型化。因此，具有难以将搬送机器人设置到真空罩内的 可能性。例如，搬送机器人越大型化，其高度尺寸就越容易变大。因此，为了使大型化的搬 送机器人位于真空罩的上方，优选确保搬送机器人的搬入空间、即真空罩上表面的上方的 空间更宽敞。但是，当搬送机器人的高度尺寸变大时，收纳...
【技术保护点】
一种机器人，其特征在于，所述机器人具备：第一单元，其从罩的上方被搬入所述罩内，并且被固定于所述罩；和第二单元，其从所述罩的上方被搬入所述罩内，并且与已固定于所述罩内的所述第一单元连接。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：古川伸征，野口忠隆，大仁健辅，
申请(专利权)人：株式会社安川电机，
类型：发明
国别省市：
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