机械手以及基板搬送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供机械手和基板搬送装置，能够高效地对基板进行除电。为了解决上述课题，构成机械手和具备所述机械手的基板搬送装置，所述机械手具备多个叉、作为产生部的静电除去装置和作为喷出部的喷出孔。上述多个叉用于载置基板。上述静电除去装置设于上述叉的内部，用于产生离子化的气体。上述喷出孔用于将由上述静电除去装置产生的离子化的气体喷出。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

机械手以及基板搬送装置
本技术公开的实施方式涉及机械手以及基板搬送装置。
技术介绍
以往，已知用于进行对液晶面板的玻璃基板那样的基板的搬送以及相对于收纳盒的取出和放入的基板搬送装置。所述基板搬送装置具有机械手，所述机械手具备多个叉，将基板载置于所述叉上进行搬送。而且，基板搬送装置将所述叉插入基板的收纳盒(下面，记载为“盒”)内来进行基板的取出和放入。然而，在所述基板的搬送和取出放入时，存在着由于发生所谓的摩擦带电或剥离带电等而使基板带有静电的情况，在所述静电放电的时候，有可能导致基板元件的损伤等。因此，近年来，出现了使用静电除去装置等除电器对基板进行除电的基板搬送装置(例如，参照专利文献I)。另外，专利文献I公开的基板搬送装置将在机械手的基部设置的静电除去装置所产生的离子化气体经由沿叉配置的配管从叉上的喷出孔喷出，通过将基板所带的静电中和来进行除电。专利文献I :日本特开2000-82732号公报然而，在现有的基板搬送装置中，存在如下问题在将离子化气体经由配管导通期间发生离子的再结合，从而无法高效地中和静电。
技术实现思路
实施方式的一个方式就是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供能够高效地对基板进行除电的机械手和基板搬送装置。实施方式的一个方式涉及的机械手具备多个叉、产生部和喷出部。多个叉用于载置基板。产生部设于所述叉的内部，用于产生离子化的气体。喷出部用于将由所述产生部产生的所述气体喷出。此外，在所述机械手中，所述喷出部设在所述叉的末端部附近的载置所述基板的面侧。在所述机械手中，所述产生部设于所述喷出部的附近。在所述机械手中，所述叉具有在载置所述基板时吸附所述基板的吸附部，所述喷出部设于所述吸附部的附近。在所述机械手中，所述喷出部将所述气体朝所述吸附部喷出。在所述机械手中，所述机械手还具备帽，所述帽安装在所述叉的末端部，所述帽具有连接孔，当将所述帽安装到所述末端部时，所述连接孔将导通管与所述喷出部连接起来， 所述导通管对在所述产生部产生的所述气体进行导通。此外，实施方式的一个方式涉及的基板搬送装置具有上述机械手。根据实施方式的一个方式，能够高效地对基板进行除电。附图说明图I是表示包括第一实施方式涉及的机械手和基板搬送装置的基板搬送系统的结构例的图。图2是表示第一实施方式涉及的机械手的结构例的图。图3是表示静电除去装置的设置例的图。图4A是盖的俯视图。图4B是安装有盖的叉的第一纵剖视图。图4C是安装有盖的叉的第二纵剖视图。图5A是表示叉的第一除电区域的图。图5B是表示叉的第二除电区域的图。图6是表示变形例涉及的盖的图。图7A是表不喷出孔的第一成形例的图。图7B是表示喷出孔的第二成形例的图。图8A是表示离子的第一喷出方向例的图。图8B是表示离子的第二喷出方向例的图。图9A是表示第二实施方式涉及的机械手的结构例的图。图9B是表示第三实施方式涉及的机械手的结构例的图。标号说明I :基板搬送系统；10 :基板搬送装置；11 :升降机构；12 :回转机构；13 :伸缩机构；14 :支承部件；15、15A、15B :机械手；16 :基部；20 :控制器；30 :盒；100 :基板；150 :叉；150a :螺孔；151 :吸附部；152U52A -M ;152a :安装部；152b :连接孔；152c :喷出孔；153 :静电除去装置；154、154A、154B :配管155 :喷出孔；155a:空气积存部；156 :开口部；157 :盖；200 :螺钉。具体实施方式下面，参照附图详细说明本申请公开的机械手和基板搬送装置的实施方式。另外， 本技术不受下面所示的实施方式限定。(第一实施方式)首先，用图I说明包括第一实施方式涉及的机械手和基板搬送装置的基板搬送系统的结构例。图I是表示包括第一实施方式涉及的机械手15和基板搬送装置10的基板搬送系统I的结构例的图。另外，为了便于理解说明，在图I中图示了包含以竖直向上为正方向的Z轴的三维直角坐标系。所述直角坐标系在下面说明所采用的其他附图中有时也会示出。如图I所示，基板搬送系统I具有基板搬送装置10、控制器20和盒30。基板搬送装置10是将呈多层收纳在盒30中的基板100 —张一张地取出和放入并进行搬送的装置。这里，对基板搬送装置10的结构例进行说明。如图I所示，基板搬送装置10具有升降机构11、回转机构12、伸缩机构13、支承部件14、机械手15和基部16。升降机构11是支承于基部16的、用于进行沿包含图中的X轴和Z轴的XZ平面升降的动作的机构，所述基部16固定于地板等。回转机构12是支承于升降机构11的、用于进行绕与Z轴平行的旋转轴线回转的动作的机构。伸缩机构13是支承于回转机构12的、用于进行沿XY平面伸缩的动作的机构。 另外，在图I中图示了一对伸缩机构13，但为了使附图便于理解，将一个伸缩机构13从中途省略了图示。基板搬送装置10通过这些升降机构11、回转机构12和伸缩机构13构成所谓的多关节臂。另外，所述多关节臂的各关节由未图示的伺服马达进行驱动。控制器20是用于保存所述伺服马达的指示程序、并按照所述指示程序控制多关节臂的动作的控制装置。并且，在所述多关节臂的末端部经由支承部件14安装有机械手15。机械手15具有多个板状的叉150，将基板100载置于所述叉150。另外，叉150由支承部件14支承，所述支承部件14被支承在伸缩机构13的端部(即多关节臂的末端部)。 而且，下面，有时将叉150的用于载置基板100的一侧的面记载为“载置面”。盒30是基板100的收纳装置，以基板100的板面平行地朝向图中的XY平面的方式将基板100呈多层地收纳于所述盒30。并且，基板搬送装置10在从盒30搬出基板100时，以沿着作为搬出对象的基板 100的下表面的方式将叉150插入以多层收纳的基板100的间隔中，来载置基板100并将基板100搬出。而且，基板搬送装置10在将基板100向盒30搬入时，在载置有作为搬入对象的基板100的状态下将叉150插入盒30，从而搬入基板100。下面，利用图2说明第一实施方式涉及的机械手15的结构例。图2是表不第一实施方式涉及的机械手的结构例的图。另外，在图2中示出了从Z轴的正方形观察到的情况的俯视图。如图2所示，机械手15具有叉150。另外，如已使用图I说明了的，机械手15具备多个叉150，但在下面，仅对其中一个叉图示说明。叉150具备吸附部151、帽152、静电除去装置153、配管154和喷出孔155。吸附部151是包括由弹性材料构成的吸附垫的部件，在叉150载置基板100时，所述吸附部151利用空气的抽吸力等吸附基板100。通过所述吸附部151，既能够缓冲基板 100，又能够将基板100稳定地载置到叉150。另外，在图2中，示出了在叉150的末端部附近设有一个吸附部151的例子，但并不限定于此，当然也可以在一个叉150的多个位置设置多个吸附部151。帽152是用于将中空的叉150的末端部封闭的保护部件。在帽152可以设置用于将后述的配管154与喷出孔155连接起来的连接孔。对于这一点在后面利用图4A 图4C 进行叙述。静电除去装置153是用于产生离子化气体(下面，为了方便而记载为“离子”)的所谓的离子的产生部。而且本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种机械手，其特征在于，所述机械手具备：多个叉，所述多个叉用于载置基板；产生部，所述产生部设于所述叉的内部，用于产生离子化的气体；以及喷出部，所述喷出部用于将由所述产生部产生的所述气体喷出。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：原田修，钱景华，
申请(专利权)人：株式会社安川电机，
类型：实用新型
国别省市：