温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供机械手和基板搬送装置，能够高效地对基板进行除电。为了解决上述课题，构成机械手和具备所述机械手的基板搬送装置，所述机械手具备多个叉、作为产生部的静电除去装置和作为喷出部的喷出孔。上述多个叉用于载置基板。上述静电除去装置设于上述叉...
该专利属于株式会社安川电机所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社安川电机授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。