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本发明提供一种机器人、机器人的设置方法和制造装置。所述机器人能够容易地设置到罩内。实施方式的机器人具备机体部和臂单元。机体部从真空罩的上方被搬入真空罩内，并且被固定于真空罩。此外，臂单元从真空罩的上方被搬入罩内，并且与已固定于罩内的机体部连...
该专利属于株式会社安川电机所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社安川电机授权不得商用。

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