一种使用粉浆浇注制备AZO靶材的方法技术

本发明专利技术涉及一种使用粉浆浇注制备AZO靶材的方法，该方法首先将AZO共沉淀粉体或者氧化锌和氧化铝的混合粉体与去离子水、分散剂、粘结剂进行球磨混合，注入模具内成型，干燥，脱脂，烧结后加工成所需尺寸的AZO靶材成品。本发明专利技术所制备的AZO靶材致密度高，组织均匀性好，易制备出大尺寸AZO靶材，且成型坯体均匀性好，后期烧结过程中坯体收缩均匀、不变形、不开裂。其工艺操作简单，易于控制，适合工业化生产。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光电功能材料领域，更具体地说是涉及一种使用粉浆浇注制备AZO(Al-doped in Zinc Oxide)革巴材的方法。
技术介绍
随着半导体、计算机、太阳能等领域的迅猛发展，透明导电氧化物(TCO)薄膜由于兼有良好的导电性和高透射率，可广泛应用于透明电极、液晶显示器(LCD)、等离子显示器(PDP)、有机发光二极管(OLED)等高清晰平板显示器，太阳能电池和各种光电设备中。现在工业上应用最广泛的透明导电薄膜是ITO (Tin doped Indium Oxide)薄膜,但它具有价格昂贵，高温下透过率迅速降低，且在氢等离子体中容易被还原，应用到太阳能电池中使电池的效率降低等缺点；而ZnO价格低廉，原料丰富，在氢离子气氛中比ITO稳定，不仅能制成良好的半导体和压电薄膜，亦能通过掺杂制成良好的透明导电薄膜，在ZnO中掺入Ga、Al、In·或F离子能改善ZnO膜的光学和电学性能。其中,AZO (Al-doped in Zinc Oxide)薄膜的研究最广泛和最深入，目前已经在薄膜太阳能电池中得到了部分应用。AZO靶材溅射薄膜是目前公认为最有前景的薄膜材料之一。AZO靶材是本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种使用粉浆浇注制备AZO靶材的方法，其特征是：首先将AZO共沉淀粉体或者氧化锌和氧化铝的混合粉体与去离子水、分散剂、粘结剂进行球磨混合，注入模具内成型，干燥，脱脂，烧结后加工成所需尺寸的AZO靶材成品。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郑金凤，岳坤，白晓东，左婧懿，王东新，孙本双，杨国綮，赵世乾，张丽，李彬，钟景明，
申请(专利权)人：国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心，
类型：发明
国别省市：