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本发明涉及一种使用粉浆浇注制备AZO靶材的方法，该方法首先将AZO共沉淀粉体或者氧化锌和氧化铝的混合粉体与去离子水、分散剂、粘结剂进行球磨混合，注入模具内成型，干燥，脱脂，烧结后加工成所需尺寸的AZO靶材成品。本发明所制备的AZO靶材致密度...
该专利属于国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心所有，仅供学习研究参考，未经过国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心授权不得商用。

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