一种太阳电池的硅片清洗制绒方法技术

本发明专利技术涉及一种太阳电池的清洗制绒方法，包括：对硅片的预清洗、碱性溶液下去损伤层、表面氧化层刻蚀、干燥工序、预清洗、制绒形成金字塔绒面结构、清洗去除有机物、表面抛光圆滑绒面、清洗去除金属杂质、表面氧化层刻蚀、干燥工序。本发明专利技术的清洗制绒方法操作简单，成本低廉，适用于大面积太阳电池的批量生产；运用本发明专利技术的清洗制绒方法，可以使硅片表面清洗得更干净，同时形成的金字塔绒面的顶部带有一定的圆滑面，有利于解决在后续的等离子体沉积中由于尖端放电等不利因素导致的非晶硅薄膜沉积不均匀的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于硅片清洗制绒领域，特别涉及。
技术介绍
太阳能被认为是最有发展前途的一种可再生能源，一方面是因为太阳无所不在，太阳照到的地方就有太阳能，另一方面太阳能是取之不尽用之不竭的。将太阳光转换成电能的太阳电池制造方法在近几年发展非常迅速，产生了各种各样的电池。目前，大规模开发利用太阳能光伏发电的核心在于提升太阳电池的光电转换效率和降低太阳电池的生产成本。带有本征薄层的非晶硅/单晶硅异质结太阳电池，即HIT太阳电池，可以用200° C以下的低温非晶硅沉积技术来替代传统晶硅电池生产工艺中的高温过程，因而有望成为另一 种形式的单晶硅电池，在实现低价高效太阳电池方面具有非常重要的应用前景。目前，日本的松下公司在2011年研发的HIT太阳电池已经实现23. 7%的转换效率，而世界上其他研究组均无法达到20%以上。因此，为了能研发出转换效率超过20%的高效HIT电池，改进太阳电池制造技术，优化生产工艺，具有十分重要的意义。经对现有HIT太阳电池制造工艺研究调查发现，HIT太阳电池是利用晶体硅做衬底材料，在其上沉积非晶硅薄膜。其中非晶硅薄层的均匀性和薄膜质量，是影响太阳电池效率的关键因素之本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种太阳电池的清洗制绒方法，包括如下步骤：（1）将硅片进行预清洗，然后用去离子水漂洗，得到预清洗后的硅片；（2）将上述预清洗后的硅片放入碱性溶液中进行去损伤层刻蚀处理，然后用去离子水漂洗；（3）将步骤（2）得到的去损伤层后的硅片用氢氟酸水溶液进行表面氧化层刻蚀腐蚀处理，然后用去离子水漂洗后干燥；（4）将步骤（3）得到硅片进行预清洗，然后用去离子水漂洗；（5）将经过步骤（4）处理后的硅片放入制绒液中进行制绒，制绒后用去离子水漂洗；（6）将步骤（5）得到的制绒后的硅片进行清洗以去除有机物，然后用去离子水漂洗；（7）将步骤（6）清洗后的硅片置于含有HF和HNO3的去离子水溶液中进行表面抛光圆滑绒面处...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：彭铮，李媛媛，王巍，杨磊，李正平，沈文忠，
申请(专利权)人：上海中智光纤通讯有限公司，
类型：发明
国别省市：