一种简易的无掩膜光刻机制造技术

本实用新型专利技术提供一种简易的无掩膜光刻机，至少包括：机体；承载台，设置于所述机体中；抽屉式承片板，滑动设置在所述承载台上，具有多个用于承载待光刻LED芯片的容置槽，所述容置槽内的容置空间与所述LED芯片的透明衬底外形相吻合，且所述LED芯片倒置于所述容置槽内；光源系统，悬设于所述承载台上方，对倒置于所述抽屉式承片板容置槽内的LED芯片进行背面曝光作业。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种半导体制造设备，特别是涉及一种简易的无掩膜光刻机，属于微电子装备领域。
技术介绍
发光二极管具有体积小、效率高和寿命长等优点，在交通指示、户外全色显示等领域有着广泛的应用，尤其是LED以其优异的性能被业界普遍认为是第四代光源的理想选择，LED光源在发光效率、使用寿命、回应时间、环保等方面均优于白炽灯、荧光灯等传统光源。LED发光效率逐年提高，已经达到了通用照明应用的需求。从Cree2010年最新公布的 结果来看，目前其实验室白光LED发光效率达到2001m/w，商用芯片达到1601m/w，并计划在2013年量产2001m/w的LED。以LED照明封装模块的光效为1601m/w记，经过从光源到灯具的过程损失其中约50%，灯具输出的光效能达到801m/w，仍然超过目前荧光灯60-801m/w的光效，并远超过白炽灯10-151m/w的效率。从光效上，LED照明已经达到了替代传统光源的标准。目前，LED器件制造过程中，光刻技术起着至关重要的作用，LED的光效已经达到了替代传统光源的要求，目前制约LED照明迅速普及的主要因素是其高昂的成本，尤其是一些高昂的自动化设备，光刻机成为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种无掩膜光刻机，其特征在于，至少包括：机体；承载台，设置于所述机体中；抽屉式承片板，滑动设置在所述承载台上，具有多个用于承载待光刻LED芯片的容置槽，所述容置槽内的容置空间与所述LED芯片的透明衬底外形相吻合，且所述LED芯片倒置于所述容置槽内；光源系统，悬设于所述承载台上方，对倒置于所述抽屉式承片板容置槽内的LED芯片进行背面曝光作业。

【技术特征摘要】
1.一种无掩膜光刻机，其特征在于，至少包括 机体； 承载台，设置于所述机体中； 抽屉式承片板，滑动设置在所述承载台上，具有多个用于承载待光刻LED芯片的容置槽，所述容置槽内的容置空间与所述LED芯片的透明衬底外形相吻合，且所述LED芯片倒置于所述容置槽内； 光源系统，悬设于所述承载台上方，对倒置于所述抽屉式承片板容置槽内的LED芯片进行背面曝光作业。2.根据权利要求I所述的无掩膜光刻机，其特征在于所述光源系统还包括一用来控制光源的曝光时间和相对辐照强度的光源控制器。3.根据权利要求I所述的无掩膜光刻机，其特征在于所述承载台上设置有两列相对平行的滑轨，所述抽屉式承片板的相对两侧边设置有用于在所述滑轨内滑动的滑轮。4.根据权利要求I所述的一种无掩膜光刻机，其特征在于所述承载台上设置有两列相对...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁根如，郝茂盛，张楠，李士涛，朱广敏，陈诚，
申请(专利权)人：上海蓝光科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：