【技术实现步骤摘要】
光刻机电子系统的整体布局的结构
本技术属于光刻
，涉及一种光刻机电子系统的整体布局的结构。
技术介绍
光刻技术是用于在衬底表面上印刷具有特征的构图。这样的衬底可包括用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器(例如液晶显示器)、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等的基片。经常使用的基片为半导体晶圆或玻璃基片。电子系统实现光刻机的自动控制，主要包括光学焦距的自动控制、激光机能量的稳定控制，气动门的控制以及各种告警指示。其中每一个功能都需要一个电子子系统，每一个子系统都需要一个开关电源供电，并且与上位机通信。这样，接线众多，不但乱，而且检修不方便。电子系统是光刻机中不可缺少的一个组成部分，其体积的大小，布线的复杂程度将影响光刻机的整体设计与布局，因此，应尽量的减少电子系统的布线与体积。
技术实现思路
本技术提供一种使用一个通信系统实现各个子系统与上位机的通信，使用连接板实现各个子系统与·通信系统的连接与供电的光刻机电子系统的整体布局的结构。本技术采用的技术方案如下光刻机电子系统的整体布局的结构，包括有上位机和多个子系统，其特征在于还包括有电路板、连接板，所述的电路板上设有通信系统，通信系统还扩展设有8个SPI 口、两个串口和一个网口，上位机通过网口与通信系统进行通信连接，各个子系统通过SPI 口和串口与通信系统连接，各个子系统均置于连接板上，所述的连接板上设有电源，连接板上的电源为各个子系统供电。所述的各个子系统和连接板固定于一个4U机箱中。本技术增加连接板，连接板负责将所有的子系统连接起来，并给子系统提供电源，将各个子系统插在连接板上，与...
【技术保护点】
一种光刻机电子系统的整体布局的结构，包括有上位机和多个子系统，其特征在于：还包括有电路板、连接板，所述的电路板上设有通信系统，通信系统还扩展设有8个SPI口、两个串口和一个网口，上位机通过网口与通信系统进行通信连接，各个子系统通过SPI口和串口与通信系统连接，各个子系统均置于连接板上，所述的连接板上设有电源，连接板上的电源为各个子系统供电。
【技术特征摘要】
1.一种光刻机电子系统的整体布局的结构，包括有上位机和多个子系统，其特征在于 还包括有电路板、连接板，所述的电路板上设有通信系统，通信系统还扩展设有8个SPI 口、 两个串口和一个网口，上位机通过网口与通信系统进行通信连接，各个子系...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈修涛，周玉，陈勇，
申请(专利权)人：合肥芯硕半导体有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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