光刻机的支撑结构及其制造方法技术

本发明专利技术提出一种光刻机的支撑结构及其制作方法。支撑结构包括外围板。外围板包括第一面、第二面和折弯边。第二面连接于第一面。第一面与第二面连接处的板材通过折弯形成折弯边，折弯边具有折弯槽，第一面与第二面在折弯槽处折弯，形成一夹角。第一面和第二面具有多块板材通过焊接连接而成。本发明专利技术采用折弯板材来代替部分焊接结构，这种方式将更适合多面体较复杂的几何外形的支撑结构，改善了制造工艺，缩短焊接制造周期。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种支撑结构，且特别涉及一种折弯式板材代替部分焊接结构的支撑 结构，一种支撑结构的制作方法也一并涉及。
技术介绍
殷钢合金(Invar)是光刻机主基板和测量支架的常用材料。它是一种低热膨胀合 金，成分为含Ni36%的铁镍合金，在230°C以下(低至_253°C)具有极低的热膨胀系数。由 于其塑性良好，性能稳定，低传热性，主要用于制造在环境温度变化范围内尺寸高度精确的 零部件和在常温附近要求尺寸恒定的、膨胀系数极低的精密仪器仪表零件、谐振腔零件，也 包括随温度变化刻度漂移很小的测量仪器、无线电频率元件、光学镜头支架及钟表摆轮装 置等。通常光刻机主基板和测量支架均采用殷钢焊接工艺，以焊接作为结构的连接方 式。然而，殷钢合金在较大温度范围内都保持着单相奥氏体结构，具有低热膨胀系数，在某 些性能上也和奥氏体不锈钢相近，因此主要焊接方法采用的是钨极电弧惰性气体保护焊 (TIG)和金属焊丝惰性气体保护焊(MIG)。在焊接过程中，热量很难从熔池扩散出去，周围 材料持续保持高温，将导致大量的晶粒粗化，破坏组织结构。另外，在殷钢合金的焊接过程 中由于不均匀温度场的存在，导致焊件不均匀的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光刻机的支撑结构，包括外围板，其特征是，所述外围板包括：第一面；第二面，连接于所述第一面；所述第一面与第二面连接处的板材通过折弯形成折弯边；所述折弯边具有折弯槽，所述第一面与所述第二面在所述折弯槽处折弯，形成夹角；所述第一面和第二面均由多块板材通过焊接连接而成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴飞，周瑞良，阎涛，袁志扬，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：