下载一种简易的无掩膜光刻机的技术资料

文档序号:8341786

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本实用新型提供一种简易的无掩膜光刻机,至少包括:机体;承载台,设置于所述机体中;抽屉式承片板,滑动设置在所述承载台上,具有多个用于承载待光刻LED芯片的容置槽,所述容置槽内的容置空间与所述LED芯片的透明衬底外形相吻合,且所述LED芯片倒置...
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