一种导流筒及其制备方法技术

技术编号:8297931 阅读:156 留言:0更新日期:2013-02-06 23:07
本发明专利技术公开了一种能缩短拉晶时间、提高拉晶速度的导流筒及其制备方法,包括倒锥形筒体,所述的筒体包括外屏(3)、内屏(5),外屏(3)与内屏(5)之间设有保温层(4),其特征是所述的外屏(3)由碳/碳复合材料制备而成,所述的内屏(5)由金属钼或金属钨制备而成,所述的外屏(3)上连接有定位盘(1),使外屏(3)、内屏(5)、保温层(4)与定位盘(1)构成整体结构,经制坯—纯化—表面涂层—组装筒体步骤制备而成,本发明专利技术保温效果好、强度高、使用寿命长,反射效果好,有效地增加了轴向温度梯度,提升了拉晶速度,缩短了拉晶时间,进而有效地提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种单晶炉热场零件,具体地说是涉及一种导流筒及制备方法,特别是涉及一种由碳/碳复合材料与金属材料结合的导流筒及其制备方法
技术介绍
单晶娃拉制炉的热场系统对单晶娃的整棒率及成品率、拉速、单晶娃棒质量都有很大的影响,因此,热场系统设计和热场内关键元件的选材和使用备受关注。导流筒是单晶硅拉制炉热场系统的关键元件之一,主要用于控制热场的轴向温度梯度和引导氩气流。导流筒阻隔单晶炉体以及熔硅对晶体的热辐射,利于晶体散热,形成晶体生长所需的温度梯度,以提高晶体生长速度;引导由单晶炉顶从上向下吹的氩气集中地喷吹到固液界面附近,维持其清洁度,同时更加有利于晶体散热,加大晶体生长所需的温度梯度,以提高晶体生长速度;对高温硅熔体起保温作用,节约能源。为了缩短拉晶时间,进而提闻生广效率,目如最有效的方法是提闻拉晶速度。而若要提高拉晶速度,则最需要解决的问题就是单晶棒的冷却速率。就是要加大晶体与熔硅之间固液界面的温度梯度,加快结晶潜热的释放。长期以来,单晶硅拉制炉导流筒普遍由石墨件和碳毡组合制成,即用石墨加工出内屏和外屏,将碳毡填充在内屏和外屏中间,再通过紧固件将三者组合在一起。从使用的效本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种导流筒,它包括倒锥形筒体,所述的筒体包括外屏(3)、内屏(5),外屏(3)与内屏(5)之间设有保温层(4),其特征是所述的外屏(3)由碳/碳复合材料制备而成,所述的内屏(5)由金属钼或金属钨制备而成,所述的外屏(3)上连接有将外屏(3)、内屏(5)、保温层(4)盖住的定位盘(1),使外屏(3)、内屏(5)、保温层(4)与定位盘(1)构成整体结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:廖寄乔邰卫平谭周建李军王跃军龚玉良
申请(专利权)人:湖南金博复合材料科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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