一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构制造技术

技术编号:8283647 阅读:193 留言:0更新日期:2013-01-31 23:42
本实用新型专利技术公开了一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构,包括籽晶杆、重锤以及垫圈,所述籽晶杆截面为T型,重锤内设有与所述籽晶杆适配的T型通孔,所述垫圈位于所述重锤的T型通孔的台阶面上。本实用新型专利技术的一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构,通过籽晶杆结构和重锤结构的优化组合,同时在籽晶杆和重锤间连接,使用低密度的碳碳复合材料,均匀地分解了大投料量晶棒在向上提拉过程中的重力。具有简单、实用、成本低的优点。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术属于硅单晶生产中的一种提拉承重装置,具体用于直拉硅单晶生长中,大投料量硅晶棒的向上提拉的一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构
技术介绍
在直拉硅单晶生长时,首先将硅料、掺杂剂在石英坩埚内熔化,然后使用一定晶向的硅单晶作为籽晶,从上部插入硅溶液,经引晶、放肩、转肩后逐步向上提拉,进而使硅溶液以籽晶为种子生长成硅单晶棒。目前,在太阳能级直拉硅单晶生长领域,随着投料量的增加,单个晶棒的重量也随之增加。现在太阳能级直拉硅单晶生长使用的常规籽晶,由于结构上容易导致应力集中,当 晶棒重量增加后,导致在实际生产过程中,籽晶断裂事故发生的频率有所增加,从而带来危险和利润损失。因此需要对现有籽晶结构进行改进。
技术实现思路
技术目的本技术所要解决的技术问题是针对现有技术的不足,提供一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构。为了解决上述技术问题,本技术公开了一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构,包括籽晶杆、重锤以及垫圈,所述籽晶杆截面为T型,重锤内设有与所述籽晶杆适配的T型通孔,所述垫圈位于所述重锤的T型通孔的台阶面上。籽晶杆的上部在与重锤的配合时,通过放置碳碳复合材料垫片,以减少间隙,防止籽晶杆插入硅熔体时上浮。本技术中,所述垫圈为碳碳复合材料制成的垫圈。考虑到籽晶在转动时,依靠摩擦力与重锤的转动同步,碳碳复合材料垫圈的表面粗糙。有益效果本技术的一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构,通过籽晶杆结构和重锤结构的优化组合,同时在籽晶杆和重锤间连接,使用低密度的碳碳复合材料,均匀地分解了大投料量晶棒在向上提拉过程中的重力。适用于大投料量直拉硅单晶的提拉,结构简单,操作简便,能提高籽晶的使用寿命,减少籽晶使用过程中,由于籽晶断裂,弓丨起生产事故发生的频次。以下结合附图和具体实施方式对本技术做更进一步的具体说明,本技术的上述和/或其他方面的优点将会变得更加清楚。图I是本技术的结构示意图。具体实施方式如图I所示,本技术公开了大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构,由籽晶杆I、重锤2和低密度碳碳复合材料垫片3组成。把籽晶杆按照尺寸加工成“T”型,重锤按照籽晶尺寸进行配套加工设有与所述籽晶杆适配的T型通孔,在籽晶和重锤连接间T型通孔的台阶面通过低密度碳碳复合材料垫片过渡。本技术组装使用时,先将碳碳复合材料垫片3放入重锤2的T型通孔,然后再将籽晶杆I放入重锤2,重锤2再通过螺纹与其它部分组合。重锤2通过钢丝绳连接到单晶炉的提拉旋转机构。籽晶杆I、重锤2、碳碳复合材料垫片3三者之间在单晶炉的提拉旋转机构作用下,转动和上下运动同步。本技术提供了一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构的思路及方法,具体实现该技术方案的方法和途径很多,以上所述仅是本技术的优选实施方式,应当指出,对于本
的普通技术人员来说,在不脱离本技术原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本实施例中未明确的各组成部分均可用现有技术加以实现。·权利要求1.一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构,其特征在于,包括籽晶杆、重锤以及垫圈,所述籽晶杆截面为T型,重锤内设有与所述籽晶杆适配的T型通孔,所述垫圈位于所述重锤的T型通孔的台阶面上。2.根据权利要求I所述的一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构,其特征在于,所述垫圈为碳碳复合材料制成的垫圈。专利摘要本技术公开了一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构,包括籽晶杆、重锤以及垫圈,所述籽晶杆截面为T型,重锤内设有与所述籽晶杆适配的T型通孔,所述垫圈位于所述重锤的T型通孔的台阶面上。本技术的一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构,通过籽晶杆结构和重锤结构的优化组合,同时在籽晶杆和重锤间连接,使用低密度的碳碳复合材料,均匀地分解了大投料量晶棒在向上提拉过程中的重力。具有简单、实用、成本低的优点。文档编号C30B29/06GK202705560SQ201220105250公开日2013年1月30日 申请日期2012年3月20日 优先权日2012年3月20日专利技术者孟召标, 伍耀川 申请人:苏州协鑫工业应用研究院有限公司本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构,其特征在于,包括籽晶杆、重锤以及垫圈,所述籽晶杆截面为T型,重锤内设有与所述籽晶杆适配的T型通孔,所述垫圈位于所述重锤的T型通孔的台阶面上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:孟召标伍耀川
申请(专利权)人:苏州协鑫工业应用研究院有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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