【技术实现步骤摘要】
本技术属于硅单晶生产中的一种提拉承重装置,具体用于直拉硅单晶生长中,大投料量硅晶棒的向上提拉的一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构。
技术介绍
在直拉硅单晶生长时,首先将硅料、掺杂剂在石英坩埚内熔化,然后使用一定晶向的硅单晶作为籽晶,从上部插入硅溶液,经引晶、放肩、转肩后逐步向上提拉,进而使硅溶液以籽晶为种子生长成硅单晶棒。目前,在太阳能级直拉硅单晶生长领域,随着投料量的增加,单个晶棒的重量也随之增加。现在太阳能级直拉硅单晶生长使用的常规籽晶,由于结构上容易导致应力集中,当 晶棒重量增加后,导致在实际生产过程中,籽晶断裂事故发生的频率有所增加,从而带来危险和利润损失。因此需要对现有籽晶结构进行改进。
技术实现思路
技术目的本技术所要解决的技术问题是针对现有技术的不足,提供一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构。为了解决上述技术问题,本技术公开了一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构,包括籽晶杆、重锤以及垫圈,所述籽晶杆截面为T型,重锤内设有与所述籽晶杆适配的T型通孔,所述垫圈位于所述重锤的T型通孔的台阶面上。籽晶杆的上部在与重锤的配合时,通过放置碳碳复合材料垫片,以减少间隙,防止籽晶杆插入硅熔体时上浮。本技术中,所述垫圈为碳碳复合材料制成的垫圈。考虑到籽晶在转动时,依靠摩擦力与重锤的转动同步,碳碳复合材料垫圈的表面粗糙。有益效果本技术的一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构,通过籽晶杆结构和重锤结构的优化组合,同时在籽晶杆和重锤间连接,使用低密度的碳碳复合材料,均匀地分解了大投料量晶棒在向上提拉过程中的重力。适用于大投料量直拉硅单晶的提拉,结构简单,操作简便, ...
【技术保护点】
一种大投料量直拉硅单晶用的籽晶配套结构,其特征在于,包括籽晶杆、重锤以及垫圈,所述籽晶杆截面为T型,重锤内设有与所述籽晶杆适配的T型通孔,所述垫圈位于所述重锤的T型通孔的台阶面上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:孟召标,伍耀川,
申请(专利权)人:苏州协鑫工业应用研究院有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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