用于坩埚加热装置的供电装置和使其运行的方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于坩埚加热装置（28）的供电装置（10，54），包括至少一个加热电流回路（26，30）和用于控制供电模块（12，14，16，18，20）的过程控制装置（36），其中加热电流回路（26，30）相应地包括至少两个供电模块（12，14，16，18，20），其中在这个或者每个加热电流回路（26，30）中，至少两个供电模块（12，14，16，18，20）的输出端（24，29）并联，本发明专利技术还涉及一种使其运行的方法。选择地可以设置加热控制装置（32）来代替过程控制装置（36），用于控制供电模块（12，14，16，18，20）。

【技术实现步骤摘要】
用于坩埚加热装置的供电装置和使其运行的方法
本专利技术涉及一种用于坩埚加热装置的供电装置。本专利技术也涉及一种使供电单元运行的方法。
技术介绍
为了例如在采用柴氏(Czochralski)方法时融化坩埚加热装置中的、尤其是拉晶设备中的称量物料(Einwaage)，通常采用低欧姆的石墨加热器。在已知的供电装置中借助于按照相位截止控制原理工作的执行机构(晶闸管调节器)提供这里所需的加热功率。这种供电装置具有一个电网输入端和一个或者若干个直流输出端。通过运行这种已知供电装置至少产生以下所列的缺点。由供电装置产生的高次波、所谓的高次谐波导致电网损耗增大。工业用户因而被其供电方敦促，采取适合的措施来减小由它们引起的对电网的反作用。因为接收的无功功率在低于由供电方为功率因数规定的最小值时被特别地加以考虑，因此无功功率损失被特别的技术措施限制。例如为此采用被动的或者主动的滤波回路。备选地也已知有一种以下形式的供电方法，通过线性的粗执行机构(可调变压器)和快速的精细执行机构共同作用，大大减小由于供电而引起的在输入侧的干扰。为了改善供电的功率因数而采用补偿设备。已知的用于坩埚加热的供电装置大部分在部分本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于坩埚加热装置（28）的供电装置（10），包括至少一个加热电流回路（26，30）和用于控制供电模块（12，14，16，18，20）的过程控制装置（36），所述加热电流回路相应地包括至少两个供电模块（12，14，16，18，20），其中在所述这个或者每个加热电流回路（26，30）中，所述至少两个供电模块（12，14，16，18，20）的输出端（24，29）并联。

【技术特征摘要】
2011.08.01 EP 11176125.01.一种用于坩埚加热装置(28)的供电装置(10)，包括至少一个加热电流回路(26，30)和用于控制供电模块(12，14，16，18，20)的过程控制装置(36)，所述加热电流回路相应地包括至少两个供电模块(12，14，16，18，20)，其中在这个或者每个所述加热电流回路(26，30)中，至少两个所述供电模块(12，14，16，18，20)的输出端(24，29)并联，每个供电模块(12，14，16，18，20)包括三个相同的子模块，这些所述子模块通过内部的系统总线相互连接，每个子模块包括整流器单元、功率因数校正级和在所述功率因数校正级之后连接的时钟输出级，用于过程监测的温度监测器(42)连接在所述加热电流回路和所述过程控制装置(36)之间。2.根据权利要求1所述的供电装置(10)，具有连接在所述过程控制装置(36)和所述供电模块(12，14，16，18，20)之间的加热控制装置(32)，用于控制和监测所述供电模块(12，14，16，18，20)。3.根据权利要求1或者2所述的供电装置(10)，其中每个供电模块(12，14，16，18，20)在输入侧三相连接。4.根据权利要求1或者2所述的供电装置(10)，其中每个供电模块(12，14，16，18，20)包括通信接口。5.根据权利要求3所述的供电装置(10)，其中每个供电模块(12，14，16，18，20)包括通信接口。6.一种运行用于坩埚加热装置(28)的根据权利要求1-5中任一项所述的供电装置(10)的方法，所述供电装置包括至少一个加热电流回路(26，30)和用于控制供电模块(12，14，16，18，20)的过程控制装置(36)，所述加热电流回路相应地包括有至少两个供电模块(12，14，16，18，20)，其中在所述这个或者每个加热电流回路(26，30)中，所述至少两个供电模块(12，14，16，18，20)的输出端(24，29)并联，而且其中被分开用于每个加热电流回路(26，30)的所述供电模块(12，14，16，18，20)取决于工艺流程和/或在单个的供电模块(12，14，16，18，20)中出现故障时激活或者去除激活。7.根据权利要求6所述的方法，其中在所述供电模块(12，14，16，18，20)中的任一个出现故障时，将信号(56)经过通信接口，从损坏的所述供电模...

【专利技术属性】
技术研发人员：乌韦·鲍姆巴赫，迈克·鲁道夫，
申请(专利权)人：西门子公司，
类型：发明
国别省市：