For high temperature evaporation furnace of thin-film solar cell manufacturing, including flow guide, lifting flange, heat shield, crucible, heater, crucible diversion heater; the heat shield in the guide member and the outer surface of the crucible, the guide member is a tubular hollow structure, is a crucible tank shaped container with an opening, diversion and the crucible through the opening is communicated with the side wall of the guide part is provided with a jet hole transmission material; the diversion baffle heater is arranged in the periphery of the guide heater is arranged by having a fixed ring is arranged on the insulating baffle and heat shield; the crucible heater is arranged on the outer surface of the crucible and the crucible heater set in between the crucible and the heat shield; the heat shield side wall is provided with a corresponding hole channel, the lifting flange fixed assembly and heat shield diversion.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉,尤其适用于不能承受高温材料的镀膜工艺。
技术介绍
铜铟镓硒薄膜太阳能电池光吸收层的制备工艺中,其蒸发过程包括三个阶段:第一阶段:控制衬底温度在200℃~300℃,控制镓的蒸发温度在900℃~1100℃之间,并在第一阶段均匀地降温35℃~45℃,控制铟的蒸发温度在800℃~1000℃之间,并在第一阶段均匀地升温45℃~55℃,控制硒的蒸发温度在200℃~300℃之间;第二阶段:停止蒸发铟和镓,提高衬底温度到450℃~600℃之间,维持硒的蒸发温度与第一阶段相同,控制铜的蒸发温度在1300℃~1500℃之间;第三阶段:停止蒸发铜,维持衬底温度与第二阶段相同,维持硒的蒸发温度与第二阶段相同,控制镓的蒸发温度在900℃~1100℃之间,并在第三阶段均匀地升温35℃~45℃,控制铟的蒸发温度在800℃~1000℃之间,并在第三阶段均匀地降温45℃~55℃;从而得到所述铜铟镓硒薄膜太阳能电池的光吸收层。铜铟镓硒四种单质在不同温度下分阶段蒸发,而铜的蒸发温度相对于硒的蒸发温度高很多,达到1200摄氏度以上,铟的蒸发温度需要达到1000摄氏度以上,镓的蒸发温度达到1100摄氏度以上,蒸发CIG的同时要蒸发硒(Se),而硒(Se)炉的坩埚距离铜炉或者铟镓炉很近,因此容易受到较大影响,因而硒蒸发速率难以控制,而且还会造成工艺腔体内的温度过高,造成衬底受热温度过高损坏。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术中存在的上述不足,从而提供一种炉体小、隔热好、耐高温、结构紧凑的用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉。本专利技术解决上 ...
【技术保护点】
用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉,其特征是,包括导流件、吊装法兰、隔热屏、坩埚、导流加热器、坩埚加热器;所述隔热屏设在导流件和坩埚外围,所述导流件为管状空心结构,坩埚是具有一开口的罐状容器,导流件与坩埚通过开口相连通,所述导流件的侧壁设有可透射物料的喷孔;所述导流加热器设置在导流件外围,所述导流加热器设置通过具有绝缘性的固定环设置在导流件与隔热屏之间;所述坩埚加热器设置在坩埚外围,所述坩埚加热器设置设置在坩埚与隔热屏之间;所述隔热屏侧壁设有对应喷孔的通道,所述吊装法兰将导流件与隔热屏组装固定。
【技术特征摘要】
1.用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉,其特征是,包括导流件、吊装法兰、隔热屏、坩埚、导流加热器、坩埚加热器;所述隔热屏设在导流件和坩埚外围,所述导流件为管状空心结构,坩埚是具有一开口的罐状容器,导流件与坩埚通过开口相连通,所述导流件的侧壁设有可透射物料的喷孔;所述导流加热器设置在导流件外围,所述导流加热器设置通过具有绝缘性的固定环设置在导流件与隔热屏之间;所述坩埚加热器设置在坩埚外围,所述坩埚加热器设置设置在坩埚与隔热屏之间;所述隔热屏侧壁设有对应喷孔的通道,所述吊装法兰将导流件与隔热屏组装固定。2.如权利要求1所述的用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉,其特征是:还包括喷头,所述喷头呈喇叭口型,喷头设置在通道内对应喷孔设置。3.如权利要求1所述的用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉,其特征是:所述导流件与坩埚螺纹连接,所述导流件与坩埚的密封面呈刀口状,导流件与坩埚的密封面之间设有密封件,密封件为石墨材料。4.如权利要求1所述的用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉,其特征是:所述喷孔的孔径为0.5至12mm,所述喷孔的数量是1至50个。技术效果:为了适应更多的蒸发有效幅宽。5.如权利要求5所述的用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉,其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员:张卫卫,王孟孟,朱家宽,刘杰鹏,高锦龙,
申请(专利权)人:旭科新能源股份有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江;33
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