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本发明涉及一种用于坩埚加热装置（28）的供电装置（10，54），包括至少一个加热电流回路（26，30）和用于控制供电模块（12，14，16，18，20）的过程控制装置（36），其中加热电流回路（26，30）相应地包括至少两个供电模块（12，...
该专利属于西门子公司所有，仅供学习研究参考，未经过西门子公司授权不得商用。

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