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坩埚喷涂烘烤旋转台制造技术

技术编号:6615123 阅读:261 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供一种坩埚喷涂烘烤旋转台,包括底座、旋转架、加热器,其特征在于,加热器上设有供坩埚烘烤温度功率的挡位;设有使加热器在竖直面旋转的装置;在加热器上设有调整加热板和铝板位置的装置。它的效果在于:1、经过喷涂后的坩埚可直接在加热器上完成烘烤工序,减少了设备和工序,大幅降低了生产成本且节省能量。2、操作方便,无论操作人员身体高矮或操作习惯的不同,都可使得旋转台适合自身操作。3、加热器的结构合理,热效率得以提高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种改进的对坩埚内壁喷涂加工时用的旋转台,特别是一种坩埚喷涂烘烤旋转台
技术介绍
在硅锭的生产中,需对坩埚内壁喷涂氮化硅涂料,在该作业中,需要坩埚旋转台作为辅助装置。现有对坩埚内壁喷涂加工时用旋转台主要由底座、旋转架、 加热器组成。加热器由架座、加热板、铝板组成,它提供一个坩埚喷涂时所需的温度环境 00-65° )。它在使用中存在的不足有1、经过喷涂后的坩埚还需送入烘烤箱或烧结炉内去进行烘烤,这不仅使工序多,而且需备专门的烘烤箱或烧结炉烘烤,使得生产成本增加; 因为加热器仅具有提供坩埚喷涂时所需环境温度的功率,不能提供烘烤所需温度的功率; 2、操作不方便,这在于,加热器的旋转架仅能在与加热器底面平行的平面内旋转,而不能在竖直面旋转,这使得不同的人去操作同一坩埚喷涂烘烤旋转台会出现高了或低了及不适合自己操作习惯的现象,使操作费力;3、加热器的结构不尽合理,其热效率存在浪费,这因为坩埚的四个侧壁因加工问题而存在一定的弧形,在它放入加热器后,坩埚每侧壁的两侧与加热器的周壁会存有一定的间隙,这使热传导的效率大为降低。
技术实现思路
本专利技术的目的在于,针对现有对坩埚内壁喷涂加工时用的旋转台在使用中存在的不足,而提出一种减少工序、降低成本、操作方便、热效率高的坩埚喷涂烘烤旋转台。通过下述技术方案可实现本专利技术目的,一种坩埚喷涂烘烤旋转台,包括底座、旋转架、加热器,其特征在于,加热器上设有供坩埚烘烤温度功率的挡位;设有使加热器在竖直面旋转的装置;在加热器上设有调整加热板和铝板位置的装置。所述供坩埚烘烤温度是指200-300°。为防止热损失,提高加热器的烘烤效率,在加热器上设有罩盖,在加热板的外侧设有保温板。使加热器在竖直面旋转的装置是指它由一扇性齿板和与扇性齿板对应设置的螺杆构成;扇性齿板的端部设有与扇面垂直的转轴,转轴两端通过轴承固定在支架上,扇性齿板的端部与旋转架固定连接,螺杆通过轴承固定在底座上,它与扇性齿板齿合连接。加热器上调整加热板和铝板位置的装置是指在加热器架座靠边端处设有穿过架座和保温板的调整螺杆,调整螺杆前端抵靠加热板。本专利技术的效果在于1、经过喷涂后的坩埚不需移送到烘烤箱内去烘烤,可直接就在加热器上完成烘烤工序,这不仅减少了生产工序,而且省去了烘烤箱或烧结炉,可大幅降低生产成本,这因为加热器在现有基础上增加了供坩埚烘烤温度功率的挡位,可完成烘烤箱或烧结炉的功能,达到其相同的效果,即使液态硅不与石英坩埚反应;另外,还可节省能量,这在于坩埚喷涂后即可在原地进入烘烤工序,不需要搬移,没有热量的损耗。2、操作方便,无论操作人员身体高矮或操作习惯的不同,都可使得旋转台适合自身操作,这因为本装置中设有使加热器在竖直面旋转的装置,它可使加热器在竖直面上作0-90°的旋转,从而可使不同身高或操作习惯的操作人员找到适合自身操作的角度和高度,使操作方便,既可省力又可提高工效。3、加热器的结构合理,热效率得以提高,这主要为本装置在加热器上设有调整加热板和铝板位置的装置,通过旋转调整螺杆,可使铝板贴紧坩埚壁,消除它们之间的间隙,从而提高热效率。下面结合附图及实施例对本专利技术进一步阐述 附图说明附图1为本专利技术从中切开的立体结构示意图。附图2为本专利技术中加热器侧壁的结构示意图。具体实施例方式参见附图1、2,一种坩埚喷涂烘烤旋转台,它由底座1、扇性齿板2、螺杆3、旋转架 4 ;加热器的架座5、铝板6、加热板7、保温板8、调整螺杆9 ;罩盖10组成。扇性齿板2的端部设有与扇面垂直的转轴,转轴两端通过轴承固定在支架上,扇性齿板3的端部与旋转架4 固定连接,螺杆3通过轴承固定在底座1上,它与扇性齿板2齿合连接。旋转螺杆3,可改变加热器的倾角。在加热器架座5每侧壁靠边端处设有穿过架座5、保温板8的调整螺杆9, 调整螺杆9前端抵靠加热板7 ;因保温板8、加热板7、铝板6中部与架座5固定连接,两边未固定,旋转调整螺杆7,可使加热板7、铝板6两边贴紧坩埚,从而提高热效率。为减少工序并省去烘烤箱或烧结炉,加热器中的加热板7上除设有供坩埚喷涂时的功率挡(一般提供温度为40-65° )外,还设有供坩埚烘烤温度000-300° )功率的挡位,这可使喷完涂料后的坩埚直接在加热器中进行烘烤,完成加工。罩盖10为活动性罩盖,在坩埚喷涂时,将其移放一旁;在坩埚烘烤时,将其罩盖在加热器上,防止热量损耗。权利要求1.一种坩埚喷涂烘烤旋转台,包括底座、旋转架、加热器,其特征在于,加热器上设有供坩埚烘烤温度功率的挡位;设有使加热器在竖直面旋转的装置;在加热器上设有调整加热板和铝板位置的装置。2.按权利要求1所述的坩埚喷涂烘烤旋转台,其特征在于,所述供坩埚烘烤温度是指 200-300° 。3.按权利要求1所述的坩埚喷涂烘烤旋转台,其特征在于,加热器上设有罩盖,在加热板的外侧设有保温板。4.按权利要求1所述的坩埚喷涂烘烤旋转台,其特征在于,所述使加热器在竖直面旋转的装置是指它由一扇性齿板和与扇性齿板对应设置的螺杆构成;扇性齿板的端部设有与扇面垂直的转轴,转轴两端通过轴承固定在支架上,扇性齿板的端部与旋转架固定连接, 螺杆通过轴承固定在底座上,它与扇性齿板齿合连接。5.按权利要求1或2或3或4所述的坩埚喷涂烘烤旋转台,其特征在于,所述加热器上调整加热板和铝板位置的装置是指在加热器架座靠边端处设有穿过架座和保温板的调整螺杆,调整螺杆前端抵靠加热板。全文摘要本专利技术提供一种坩埚喷涂烘烤旋转台,包括底座、旋转架、加热器,其特征在于,加热器上设有供坩埚烘烤温度功率的挡位;设有使加热器在竖直面旋转的装置;在加热器上设有调整加热板和铝板位置的装置。它的效果在于1、经过喷涂后的坩埚可直接在加热器上完成烘烤工序,减少了设备和工序,大幅降低了生产成本且节省能量。2、操作方便,无论操作人员身体高矮或操作习惯的不同,都可使得旋转台适合自身操作。3、加热器的结构合理,热效率得以提高。文档编号B05D3/02GK102198441SQ201110132430公开日2011年9月28日 申请日期2011年5月17日 优先权日2011年5月17日专利技术者刘华成 申请人:刘华成本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种坩埚喷涂烘烤旋转台,包括底座、旋转架、加热器,其特征在于,加热器上设有供坩埚烘烤温度功率的挡位;设有使加热器在竖直面旋转的装置;在加热器上设有调整加热板和铝板位置的装置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘华成
申请(专利权)人:刘华成
类型:发明
国别省市:36

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