坩埚喷涂台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种坩埚喷涂台，所述坩埚喷涂台包括支撑板和多个加热部；所述加热部，包括贴设于所述支撑板表面的用于给待喷涂坩埚的底部加热的底部加热部和用于给所述坩埚的四个侧壁加热的侧壁加热部，且至少其中的三个所述侧壁加热部通过转臂连接于所述支撑板，各所述加热部包括外固定封套和整块的不锈钢加热板，且所述不锈钢加热板的加热元件为加热扁带，所述转臂连接于所述外固定封套。本实用新型专利技术能够提高加热效能，降低故障率，缩短喷涂时间，降低成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能利用
，尤其与一种与多晶炉配套使用的坩埚喷涂台有关。
技术介绍
坩埚喷涂，是将氮化硅粉用纯水调制成水剂，用压缩空气经喷枪均匀喷涂在坩埚内表面，水分快速蒸发，留下氮化硅粉附着在坩埚内壁的一种工艺过程。现有技术的一种与多晶炉配套的坩埚喷涂台91，如图1-图3所示，其底部加热部92和侧壁加热部93均由分块小加热板94组成，其整体尺寸小，使用过程中加热慢，而且只适用40℃的低温氮化硅粉，而对于工艺中可能用到高温氮化硅粉，喷涂温度在100℃左右的情形，则不能适用。并且，现有技术的坩埚喷涂台91，在进行喷涂时，温度降低很快，且温度分布不均匀，要等待温度升起来才能够继续喷涂，因此喷涂一次需要4～5个小时，耗时长。还有，现有技术的坩埚喷涂台91，如图2、图3所示，其分块小加热板94的加热丝细，故障率高，价格昂贵而且不易采购。故障后不能继续使用，造成很大的浪费。且现有技术的坩埚喷涂台91，其分块小加热板94的加热部件使用的是缠绕编制方式，发热效能低。因此，需要开发一种新的坩埚喷涂台，以应对上述技术问题。在所述
技术介绍
部分公开的上述信息仅用于加强对本技术的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本技术的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种坩埚喷涂台，以提高加热效能，降低故障率，缩短喷涂时间，降低成本。为实现上述目的，本技术的技术方案如下：一种坩埚喷涂台，所述坩埚喷涂台包括支撑板和多个加热部；所述加热部，包括贴设于所述支撑板表面的用于给待喷涂坩埚的底部加热的底部加热部和用于给所述坩埚的四个侧壁加热的侧壁加热部，且至少其中的三个所述侧壁加热部通过转臂连接于所述支撑板，各所述加热部包括外固定封套和整块的不锈钢加热板，且所述不锈钢加热板的加热元件为加热扁带，所述转臂连接于所述外固定封套。本技术的坩埚喷涂台，优选的，所述不锈钢加热板上的所述加热扁带为单面编制方式。本技术的坩埚喷涂台，优选的，所述不锈钢加热板上具有交错分布的走线孔。本技术的坩埚喷涂台，优选的，所述底部加热部和侧壁加热部的加热电路为采用单相电源加热方式的加热电路。本技术的坩埚喷涂台，优选的，所述底部加热部的不锈钢加热板的规格为880×880mm，四个侧壁加热部的不锈钢加热板的规格分别为880×500mm、988×500mm、935×500mm和935×500mm。本技术的坩埚喷涂台，优选的，所述底部加热部的不锈钢加热板中的加热扁带的规格为0.3×4mm，四个侧壁加热部的不锈钢加热板中的加热扁带的规格为0.3×5mm。本技术的坩埚喷涂台，优选的，还包括用于测试坩埚内壁温度的热电偶传感器。本技术的坩埚喷涂台，优选的，所述加热扁带的材质为0Cr27Al7Mo2，电阻率为1.53±0.07μΩ·m。本技术的坩埚喷涂台，优选的，所述侧壁加热部中的下加热部通过支撑架固定支撑于所述支撑板。本技术的有益效果在于，本技术的坩埚喷涂台，在较低投入的情况下，能够达到以下效果：1、提高了加热效能，减轻了工人劳动强度，缩短了喷涂时间。2、不再需要昂贵进口加热板配件，可以不需要采购低温氮化硅粉，节约了成本。3、可使基本上闲置的设备经过改造后，继续使用。附图说明通过结合附图考虑以下对本技术的优选实施例的详细说明，本技术的各种目标、特征和优点将变得更加显而易见。附图仅为本技术的示范性图解，并非一定是按比例绘制。在附图中，同样的附图标记始终表示相同或类似的部件。图1为现有技术的坩埚喷涂台的示意图；图2为现有技术的坩埚喷涂台的底部加热部的示意图；图3为现有技术的坩埚喷涂台的侧壁加热部的示意图；图4为本技术实施例的坩埚喷涂台的非使用状态示意图；图5为本技术实施例的坩埚喷涂台不锈钢加热板正面排线示意图；图6为本技术实施例的坩埚喷涂台不锈钢加热板背面排线示意图；图7为本技术实施例的坩埚喷涂台的使用状态示意图。其中，附图标记说明如下：1支撑板2不锈钢加热板21排线孔22加热扁带3侧壁加热部31上加热部32下加热部33左加热部34右加热部4底部加热部5转臂6坩埚7支撑架8开槽现有技术91坩埚喷涂台92底部加热部93侧壁加热部94加热部件具体实施方式现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本技术将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。在说明本技术或本技术优选实施例的元件时，词“一”、“一个”、“该”以及“所述”意欲指的是存在着一个或更多个元件。术语“包括”、“包含”和“具有”等意欲是开放性的且指的是除了所列出的元件之外还可存在其它元件。如图4-图7所示，本技术实施例的坩埚喷涂台，包括支撑板1(或称支架)和多个加热部。其中多个加热部包括底部加热部4和四个侧壁加热部3。底部加热部4贴设于支撑板1表面，用于给待喷涂坩埚6的底部加热，而四个侧壁加热部3，用于给坩埚6的四个侧壁加热，且其中的三个侧壁加热部3通过转臂5连接于支撑板1，以使坩埚6的左、上、右三边侧的加热部可以打开和合上，供待喷涂坩埚6的取放，这三个侧壁加热部3可分别称为上加热部31、左加热部33和右加热部34。另外一个侧壁加热部3，即下加热部32，可通过支撑架7进行固定支撑。每一个加热部(包括底部加热部4和侧壁加热部3)，则包括整块的不锈钢加热板2，和封套于不锈钢加热板2外表面的外固定封套，且不锈钢加热板2的加热元件为加热扁带22。对于上、左、右三个侧壁加热部3，转臂5则连接于外固定封套，以带动这三个侧壁加热部3的开合。在支撑板1上具有开槽8，转臂5设置在开槽8中。如图5和图6所示，不锈钢加热板2上具有交错分布的排线孔21，用于设置加热扁带22和加热扁带22的排线(或称走线)。同时，外固定封套也是不锈钢材质。本技术实施例的坩埚喷涂台，不锈钢加热板2的加热扁带22采用单面编制(或称编织)方式，代替现有技术坩埚喷涂台91的分块小加热板94的缠绕编制方式，可以提高发热效能。这里所谓的单面编制方式，是指如图5和图6所示，除了由于走线的必须要求外，将加热扁带22的绝大部分都布置在不锈钢加热板2的正面，即与坩埚6靠近的一面，而很少一部分是布置于不锈钢加热板2的背面。另外，本技术实施例的坩埚喷涂台，增加加热板的尺寸，代替现有技术的温度分布不均匀的加热板，并选用高性能的加热扁带材料0Cr27Al7Mo2，其电阻率可为1.53±0.07μΩ·m。其中，对于各侧壁加热部3的尺寸，可与坩埚6的尺寸大致一致，使得坩埚6的温度分布均匀。本技术实施例的坩埚喷涂台，根据一块底部加热部4和四块侧壁加热部3的共五块不锈钢加热板2尺寸之间的差异，设计每块不锈钢加热板2的加热扁带22的截面积和长度，使每块不锈钢加热板2的加热功率不同，保障坩埚6内壁的温度基本一致(±5℃)。五块不锈钢加热板2的规格(外形尺寸)例如为：底部加热部4的不锈钢加热板2为880×880，下加热部32的不锈钢加热板2为8本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种坩埚喷涂台，所述坩埚喷涂台包括支撑板和多个加热部；所述加热部，包括贴设于所述支撑板表面的用于给待喷涂坩埚的底部加热的底部加热部和用于给所述坩埚的四个侧壁加热的侧壁加热部，且至少其中的三个所述侧壁加热部通过转臂连接于所述支撑板，其特征在于：各所述加热部包括外固定封套和整块的不锈钢加热板，且所述不锈钢加热板的加热元件为加热扁带，所述转臂连接于所述外固定封套。

【技术特征摘要】
1.一种坩埚喷涂台，所述坩埚喷涂台包括支撑板和多个加热部；所述加热部，包括贴设于所述支撑板表面的用于给待喷涂坩埚的底部加热的底部加热部和用于给所述坩埚的四个侧壁加热的侧壁加热部，且至少其中的三个所述侧壁加热部通过转臂连接于所述支撑板，其特征在于：各所述加热部包括外固定封套和整块的不锈钢加热板，且所述不锈钢加热板的加热元件为加热扁带，所述转臂连接于所述外固定封套。2.如权利要求1所述的坩埚喷涂台，其中所述不锈钢加热板上的所述加热扁带为单面编制方式。3.如权利要求2所述的坩埚喷涂台，其中所述不锈钢加热板上具有交错分布的走线孔。4.如权利要求1所述的坩埚喷涂台，其中所述底部加热部和侧壁加热部的加热电路为采用单相电源加热方式的加热电路。5.如权利要求3或4...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴华兵，苏阳，贾晓飞，
申请(专利权)人：包头市山晟新能源有限责任公司，
类型：新型
国别省市：内蒙古;15