坩埚喷涂台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种坩埚喷涂台，所述坩埚喷涂台包括支撑板和多个加热部；所述加热部，包括贴设于所述支撑板表面的用于给待喷涂坩埚的底部加热的底部加热部和用于给所述坩埚的四个侧壁加热的侧壁加热部，且至少其中的三个所述侧壁加热部通过转臂连接于所述支撑板，各所述加热部包括外固定封套和整块的不锈钢加热板，且所述不锈钢加热板的加热元件为加热扁带，所述转臂连接于所述外固定封套。本实用新型专利技术能够提高加热效能，降低故障率，缩短喷涂时间，降低成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能利用
，尤其与一种与多晶炉配套使用的坩埚喷涂台有关。
技术介绍
坩埚喷涂，是将氮化硅粉用纯水调制成水剂，用压缩空气经喷枪均匀喷涂在坩埚内表面，水分快速蒸发，留下氮化硅粉附着在坩埚内壁的一种工艺过程。现有技术的一种与多晶炉配套的坩埚喷涂台91，如图1-图3所示，其底部加热部92和侧壁加热部93均由分块小加热板94组成，其整体尺寸小，使用过程中加热慢，而且只适用40℃的低温氮化硅粉，而对于工艺中可能用到高温氮化硅粉，喷涂温度在100℃左右的情形，则不能适用。并且，现有技术的坩埚喷涂台91，在进行喷涂时，温度降低很快，且温度分布不均匀，要等待温度升起来才能够继续喷涂，因此喷涂一次需要4～5个小时，耗时长。还有，现有技术的坩埚喷涂台91，如图2、图3所示，其分块小加热板94的加热丝细，故障率高，价格昂贵而且不易采购。故障后不能继续使用，造成很大的浪费。且现有技术的坩埚喷涂台91，其分块小加热板94的加热部件使用的是缠绕编制方式，发热效能低。因此，需要开发一种新的坩埚喷涂台，以应对上述技术问题。在所述
技术介绍
部分公开的上述信息仅用于加强对本技术的背景的理解，因此它可以包本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种坩埚喷涂台，所述坩埚喷涂台包括支撑板和多个加热部；所述加热部，包括贴设于所述支撑板表面的用于给待喷涂坩埚的底部加热的底部加热部和用于给所述坩埚的四个侧壁加热的侧壁加热部，且至少其中的三个所述侧壁加热部通过转臂连接于所述支撑板，其特征在于：各所述加热部包括外固定封套和整块的不锈钢加热板，且所述不锈钢加热板的加热元件为加热扁带，所述转臂连接于所述外固定封套。

【技术特征摘要】
1.一种坩埚喷涂台，所述坩埚喷涂台包括支撑板和多个加热部；所述加热部，包括贴设于所述支撑板表面的用于给待喷涂坩埚的底部加热的底部加热部和用于给所述坩埚的四个侧壁加热的侧壁加热部，且至少其中的三个所述侧壁加热部通过转臂连接于所述支撑板，其特征在于：各所述加热部包括外固定封套和整块的不锈钢加热板，且所述不锈钢加热板的加热元件为加热扁带，所述转臂连接于所述外固定封套。2.如权利要求1所述的坩埚喷涂台，其中所述不锈钢加热板上的所述加热扁带为单面编制方式。3.如权利要求2所述的坩埚喷涂台，其中所述不锈钢加热板上具有交错分布的走线孔。4.如权利要求1所述的坩埚喷涂台，其中所述底部加热部和侧壁加热部的加热电路为采用单相电源加热方式的加热电路。5.如权利要求3或4...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴华兵，苏阳，贾晓飞，
申请(专利权)人：包头市山晟新能源有限责任公司，
类型：新型
国别省市：内蒙古;15