温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种坩埚喷涂台,所述坩埚喷涂台包括支撑板和多个加热部;所述加热部,包括贴设于所述支撑板表面的用于给待喷涂坩埚的底部加热的底部加热部和用于给所述坩埚的四个侧壁加热的侧壁加热部,且至少其中的三个所述侧壁加热部通过转臂连接于所述支...该专利属于包头市山晟新能源有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过包头市山晟新能源有限责任公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种坩埚喷涂台,所述坩埚喷涂台包括支撑板和多个加热部;所述加热部,包括贴设于所述支撑板表面的用于给待喷涂坩埚的底部加热的底部加热部和用于给所述坩埚的四个侧壁加热的侧壁加热部,且至少其中的三个所述侧壁加热部通过转臂连接于所述支...