The utility model relates to a crucible and the crucible comprises a crucible body, the inner wall of the pot body is provided with a groove, one end of the groove is provided with a baffle, a small pores are uniformly arranged at the bottom of the bottom ends of the grooves; the crucible of this structure can solve the preparation of silicon carbide in the process of solvent melting leads to different melting the problem of synchronization, the melting interval shortened, form a fixed stoichiometric solution, ensure rapid growth of crystals.
【技术实现步骤摘要】
一种坩埚
本技术涉及碳化硅生产设备
,具体涉及一种坩埚。
技术介绍
现有的液相法生长碳化硅晶体技术,都是通过加热的方式将硅在高纯石墨坩埚中熔化,形成碳在硅中的溶液,再将头部贴付有籽晶的石墨轴伸入到溶液中进行生长。常压下,碳在硅溶液中的溶解度非常低,这样导致碳供给不足,限制了碳化硅晶体的生长速度。为了产业化的要求,必须增大碳在硅溶液中的溶解度。一般的做法是向硅溶液中加入助溶剂,如Fe、Mn、Ti、Cr等。特别是对于P型掺杂,Al广泛的应用于液相法碳化硅晶体生长技术。在生长晶体前,先将Al和硅块或者硅粉同时放入坩埚中,然后加热熔化形成溶液。然而在加热过程中,由于熔点不同,会在不同的时间段熔化。金属Al的熔点为660℃,硅的熔点为1420℃。所以在加热过程中,首先Al会熔化,在硅熔化前,Al呈液态,Al会和石墨坩埚反应,生成碳化铝,这样会消耗掉一部分Al,同时液态铝会侵蚀石墨坩埚,容易导致坩埚的泄露。所以如何使类似Al的金属助溶剂和硅同时熔化形成溶液,是一个比较棘手的问题。
技术实现思路
本技术针对制备碳化硅过程中存在的不足之处,提供了一种坩埚,所述坩埚包括坩埚体,所述坩埚体内壁上设置有凹槽,所述凹槽一端设置有挡板,所述凹槽上设置有小细孔;采用这种结构的坩埚,可以解决制备碳化硅过程中助溶剂熔点不同导致熔化不同步的问题,使熔化的区间缩短,形成固定化学配比的溶液,保证晶体的快速生长。本技术具体的技术方案是:一种坩埚,包括坩埚体,所述坩埚体内设置有至少一条凹槽,且所述凹槽倾斜设置在坩埚体的内壁上;由于碳化硅在生产时一般采用射频加热,坩埚内自下而上会形成明显的温度梯度 ...
【技术保护点】
一种坩埚,包括坩埚体(1),其特征在于:所述坩埚体(1)内设置有至少一条凹槽(2),且所述凹槽(2)倾斜设置在坩埚体(1)的内壁上。
【技术特征摘要】
1.一种坩埚,包括坩埚体(1),其特征在于:所述坩埚体(1)内设置有至少一条凹槽(2),且所述凹槽(2)倾斜设置在坩埚体(1)的内壁上。2.根据权利要求1所述的坩埚,其特征在于:所述凹槽(2)螺旋设置在坩埚体(1)的内壁上。3.根据权利要求1所述的坩埚,其特征在于:所述凹槽(2)末端底部...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱灿,李斌,张亮,
申请(专利权)人:山东天岳晶体材料有限公司,
类型:新型
国别省市:山东,37
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