【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种靶材，尤其涉及一种用于真空溅镀的靶材。
技术介绍
由于目前应用于真空溅镀作业的靶材需要成型到一定的大尺寸之后，再进行修整成所需尺寸的靶材,这样靶材的成本很高,而需要不同靶材的情况下,则需要两个靶材,这样才能达到所需的溅镀效果，那么如何制作一种真空溅镀的靶材，使之可以用一个靶材达到两个靶材所达到的效果，以节约大量成本，正是专利技术人要解决的问题。
技术实现思路
本技术解决了真空溅镀套色等制程中需要两块靶材的不足，用一块靶材即可达到两块靶材的效果。其具体技术方案是一种用于真空溅镀的靶材，所述靶材为金属靶A和金属靶B两两交错固定连接。作为优选，所述金属靶A为铜靶，金属靶B为铝靶。作为优选，所述金属靶A为钛靶，金属靶B为银靶。作为优选，所述金属靶A为合金靶，金属靶B为合金靶。本技术解决了真空溅镀需要两块靶材的成本浪费的问题，用一块靶材达到了两块靶材所达到的效果。附图说明图I为本技术结构示意图。具体实施方式实施例I下面结合图I对本技术实施例I作进一步详细描述一种用于真空溅镀的靶材，其特征在于，所述靶材为金属靶Al和金属靶B2两两交错固定连接。所述金属靶Al为铜靶，金属靶B2为铝靶。实施例2下面结合图I对本技术实施例2作进一步详细描述一种用于真空溅镀的靶材，其特征在于，所述靶材为金属靶Al和金属靶B2两两交错固定连接。所述金属靶Al为钛靶，金属靶B2为银靶。实施例3下面结合图I对本技术实施例3作进一步详细描述一种用于真空溅镀的靶材，其特征在于，所述靶材为金属靶Al和金属靶B2两两交错固定连接。所述金属靶Al为合金靶，金属靶B2为合金靶。权利要求1.一种用于...
【技术保护点】
一种用于真空溅镀的靶材，其特征在于，所述靶材为金属靶A（1）和金属靶B（2）两两交错固定连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郑志铭，
申请(专利权)人：浙江柏腾光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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