透明导电氧化物复合膜材料的制备方法技术

本发明专利技术涉及一种透明导电氧化物复合薄膜的制备方法，属于功能薄膜材料（光电子信息材料）技术领域。该透明导电氧化物复合膜在超白玻璃基材上底层生长透明和导电性能优越的金属氧化物层、表面层生长高温下性能稳定的金属氧化物层。两种金属氧化物层所采用的制备条件和方法均是在室温条件下采用射频磁控溅射的方法进行生长。本发明专利技术方法的优点是所制成的导电基板的复合透明导电膜具有高电导率、高光学透过率、厚度均匀性好、高热稳定性，高温下光电性能稳定，与玻璃基材结合牢固。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，属于功能薄膜材料或光电子信息材料

技术介绍
透明导电氧化物(TCO)薄膜是功能薄膜材料中比较有特色的一类薄膜，具有在可见光区透明、电阻率低等优异的光电性能，被广泛应用于各种光电器件中，例如平面液晶显示器、太阳能电池、节能视窗、反射热镜、气体敏感器件、以及光电子、微电子、真空电子器件等领域。TCO材料的电学和光学性能的改善将大幅度提高上述器件的效率和性能。当选择一个TCO电极做光伏器件的时候，除了要考虑它的传统的光透明和良好的·电导率的特性以外，无毒、低成本和容易工业规模生产等其它特性也都必须考虑。此外，每一种光伏技术的使用都可以获得某种特殊的性能，例如在一定过程下具有热稳定性高、化学稳定性好、表面电化学性能优异或者室温的可能性制作。由于这个原因，尽管TCO在相当长的一段时间里已经被认识和使用，但是对这些材料的研究仍然很活跃，目的是改善它们的性能。室温制作和耐热性这两个特性对于TCO电极来说都非常重要。此外，新一代的光伏器件，比如DSSC或者有机太阳能电池的发展也要依赖基于TCO的新电极的研发，即新电极在高温制备工艺下必须能够保持良好的透明度和电导率。这本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种透明导电氧化物复合膜材料的制备方法，其特征在于具有以下的过程和步骤：a.？玻璃基板的清洗：清洗工艺按照去离子水、乙醇、丙酮、乙醇、去离子水的顺序进行超声清洗；b.？基板设置：基板安装到溅射腔内，通过抽真空，使溅射腔的背底真空度小于1.0×10？3Pa；c.？底层AZO（掺铝氧化锌）膜的生长：向溅射室中充入溅射气体（氩气和氧气），调整气体流量，使氧气和氩气的分压比为10？2数量级，总压力为0.5？1.5？Pa，溅射功率为90？300W，基板温度为室温，溅射时间为30？90分钟；d.？表面层ATO（掺锑氧化锡）膜的生长：调整气体流量，使氧气和氩气的分压比为10？1数量级，总压力为0.5？1.5...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈益钢，曹苗苗，陈银儿，
申请(专利权)人：上海大学，
类型：发明
国别省市：