【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种纺织材料的制备方法，尤其涉及一种纺织材料上沉积纳米Ti02薄膜的方法。
技术介绍
薄膜的研究依赖予薄膜的制备技术，高质量的薄膜有利于薄膜物理的研究和薄膜器件应用的开发。随着激光技术、微波技术和离子束技术的应用，人们开发了多种纳米Ti02功能薄膜的制备技术和方法，其中运用最为广泛麴就是溶胶-凝胶法(Sol。gel)、化学气相沉积法(CVD)和以磁控溅射法为代表的物理气相沉积法(PvD)。但是上述几种制备方法均有其缺陷，而溶胶一凝胶法的缺点则是制得薄膜的孔隙、致密度、晶型以及与基体的结合力往往与溶胶的性质、基体性质、干燥和焙烧过程紧密相关，受外界条件影响很大，工业化推广存在一定困难。而化学气相沉积法的缺点则是薄膜制备工艺复杂，控制较为困难。化学 气相沉积法制备薄膜的结构和生长形态受基体温度影响较大，同时在反应过程中，反应气体比例和流量往往也会影响到薄膜质量，因而其不利于大批量生产。同时由于基体温度较高，对基体的耐热性能和膨胀系数有较为严格的要求。此外化学气相沉积法在薄膜制备过程中容易释放有害气体，对环境造成污染。但磁控溅射技术也存在着一些问题，主要...
【技术保护点】
一种纺织材料上沉积纳米TiO2薄膜的方法，其特征在于，包括如下步骤：以高纯金属Ti靶为靶材，经预处理的纺织材料为基材，采用直流反应磁控溅射设备在室温条件下制备纺织材料基纳米TiO2薄膜，所有样品均采用基材在上、靶材在下的结构，即由下向上的溅射方式制备纳米TiO2薄膜，以避免杂质颗粒落到基材表面；同时，为控制薄膜沉积时基材的温度，避免由于高温而发生的基材变形，采用水冷装置冷却基片；为保证纳米TiO2薄膜的纯度，先将反应室抽至本底真空，然后通入高纯氩气作为溅射气体，高纯氧气作为反应气体。
【技术特征摘要】
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