下载纺织材料上沉积纳米TiO2薄膜的方法的技术资料

文档序号:8268348

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本发明提供一种纺织材料上沉积纳米TiO2薄膜的方法,包括如下步骤:以高纯金属Ti靶为靶材,经预处理的纺织材料为基材,采用直流反应磁控溅射设备在室温条件下制备纺织材料基纳米TiO2薄膜,所有样品均采用基材在上、靶材在下的结构,即由下向上的溅射...
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