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透明导电氧化物复合膜材料的制备方法技术
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文档序号:8268349
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本发明涉及一种透明导电氧化物复合薄膜的制备方法,属于功能薄膜材料(光电子信息材料)技术领域。该透明导电氧化物复合膜在超白玻璃基材上底层生长透明和导电性能优越的金属氧化物层、表面层生长高温下性能稳定的金属氧化物层。两种金属氧化物层所采用的制备...
该专利属于上海大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海大学授权不得商用。
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