【技术实现步骤摘要】
本技术涉及直拉硅单晶生长,尤其涉及一种用于直拉硅单晶生长的晶种夹头。
技术介绍
直拉硅单晶生长炉中常用的晶种夹头如图I和图2所示,夹头从上到下顺次包括挂钩I、上段2、中段3、下段4、销子5,挂钩I顶端有一凹槽,凹槽的两侧留有销子孔;上段2为一圆柱体,长度a为100-150mm、直径Cl1约为50_70mm,上段2的上部为一圆锥台,该圆锥台的底角^*60° -70°、高度a'为5-10mm冲段3为一圆锥台,其高度b为40-50mm;下段4为一圆柱体,高度c为100-150mm,直径d2为40-50mm,下段4的下端为一圆锥台,底角α2为60° -70°高度c'为5-10mm,下段4的中心为晶种的固定槽9,固定槽9位于下段4的下半部分并向下开口,固定槽9的直径(16为12-13_,固定槽9的轴线与夹头轴线重合,下段4的下部一侧开有销子孔7,销子孔7为圆形的通孔,销子孔7的直径d5为5-8mm,销子孔7的截面圆心离夹头轴线的距离为7-9mm ;销子孔7内装有销子5,销子5为长度40_50mm的圆柱形,销子5的直径d4为5_8mm, d5比d4大O. 1-0. 2mm。 ...
【技术保护点】
一种用于直拉硅单晶生长的晶种夹头,其特征在于夹头从上到下顺次包括挂钩(1)、上段(2)、中段(3)、下段(4)、销子(5),挂钩(1)顶端有一凹槽,凹槽的两侧留有销子孔;上段(2)包括相连接的圆柱体和圆锥台,总高度a为100?150mm、直径d1为50?70mm,圆锥台的底角α1为60°?70°、圆锥台高度a′为5?10mm;中段(3)为圆锥台,其高度b为40?50mm;下段(4)包括相连接的圆柱体和圆锥台,总高度c为100?150mm,直径d2为40?50mm,圆锥台底角α2为60°?70°,圆锥台高度c′为5?10mm,下段(4)的下部中心设有晶种的固定槽(9),固定槽 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:田达晰,何永增,程建国,张向成,郑铁波,李刚,
申请(专利权)人:浙江金瑞泓科技股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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