【技术实现步骤摘要】
一种防止晶盒放反的晶盒组件
[0001]本技术涉及单晶硅片工装
，特别是涉及一种防止晶盒放反的晶盒组件。
技术介绍
[0002]单晶硅片在机械加工过程中存在着正反面之分，如抛光面为正面，后续的外延，器件等均在抛光面上完成，而背面则需要加工喷砂，退火，poly，背封等。当硅片在工厂里流片均是使用晶盒进行装片加工，当晶盒放置错误时将会导致硅片加工面错误的情况。为了解决上述问题，需要设计一种新的晶盒组件。
技术实现思路
[0003]本技术所要解决的技术问题是提供一种防止晶盒放反的晶盒组件，具有结构简单、指示明显、预防晶盒放置错误、降低生产失误概率、提高生产效率等特点。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种防止晶盒放反的晶盒组件，包括晶盒本体和定位盒体，所述的晶盒本体包括存放支架本体、存放槽和卡槽，所述的存放支架本体两端朝上凸出，形成存放凸出，两个存放凸出上均均匀布置有存放槽，所述的存放支架本体前侧设置有卡槽，所述的定位盒体上设置有一端带有开口的安装槽，所述的安装槽内侧壁上设置有与卡槽对应的卡接凸片。
[0005]本技术方案中通过设置卡槽和卡接凸片，避免晶盒本体出现放反现象，通过设置带有开口的安装槽，方便确保装置朝向，通过设置存放支架本体以及带有存放槽的存放凸出，方便单晶硅片的放置以及存储。
[0006]作为对本技术方案的一种补充，所述的晶盒本体中部布置有贯穿晶盒本体的避空缺口。
[0007]作为对本技术方案的一种补充，所述的晶盒本体中部内安装有支...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种防止晶盒放反的晶盒组件，其特征在于：包括晶盒本体(1)和定位盒体(2)，所述的晶盒本体(1)包括存放支架本体(3)、存放槽(7)和卡槽(6)，所述的存放支架本体(3)两端朝上凸出，形成存放凸出，两个存放凸出上均匀布置有存放槽(7)，所述的存放支架本体(3)前侧设置有卡槽(6)，所述的定位盒体(2)上设置有一端带有开口的安装槽(8)，所述的安装槽(8)内侧壁上设置有与卡槽(6)对应的卡接凸片(11)。2.根据权利要求1所述的一种防止晶盒放...
【专利技术属性】
技术研发人员：应家敏，梁兴勃，黄昆，张海英，王雷，黄羽辰，
申请(专利权)人：浙江金瑞泓科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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