一种重掺磷单晶炉炉压控制系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种重掺磷单晶炉炉压控制系统，包括过滤装置，所述的过滤装置的进口端连接有进气管，该进气管上设置有流量计和阀门，所述的过滤装置的出口端连接有输出管路，该输出管路上设置有水阀以及控制水阀的定时器。本实用新型专利技术具有以下几个优点：1、添加过滤装置，使产生的挥发物均速、持久的通过管路，避免挥发物大量进入管路，局部堵塞或引起炉压波动；2、增加管路吹气，使磷的挥发物氧化，改变其特性，不易黏附；3、过滤网罩表面以及过滤罐内壁均喷有PTFE涂层，使挥发物不易黏附；4、增加定期清洗装置，对部件定期冲洗，清洁部件。清洁部件。清洁部件。

【技术实现步骤摘要】
一种重掺磷单晶炉炉压控制系统


[0001]本技术涉及单晶炉
，特别是涉及一种重掺磷单晶炉炉压控制系统。

技术介绍

[0002]现有单晶炉炉压控制根据控制蝶阀的阀门大小，来实现炉腔内压力的稳定。由于掺杂剂磷的特性，掺杂和等径过程中生成的化合物会随着气流被带进管路，由于其具有易黏附的特性，致使部分磷化合物黏附于管壁，造成管路堵塞，从而使炉内压力升高，而使控制蝶阀的手段失效，造成单晶锭断苞；同时使硅溶液内的氧挥发不出来，导致产品内部的氧含量偏高，影响产品品质。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题是提供一种重掺磷单晶炉炉压控制系统，添加过滤装置，使产生的挥发物均速、持久的通过管路，避免挥发物大量进入管路，局部堵塞或引起炉压波动。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种重掺磷单晶炉炉压控制系统，包括过滤装置，所述的过滤装置的进口端连接有进气管，该进气管上设置有流量计和阀门，所述的过滤装置的出口端连接有输出管路，该输出管路上设置有水阀以及控制水阀的定时器。
[0005]作为对本技术所述的技术方案的一种补充，所述的过滤装置包括过滤罐和过滤网罩，所述的过滤罐的两侧分别开设有进气口和出气口，该过滤罐的内部安装有过滤网罩，所述的进气口一端与过滤网罩连通，该进气口另一端与进气管相连，所述的出气口一端与输出管路相连。
[0006]作为对本技术所述的技术方案的一种补充，所述的过滤网罩表面喷有PTFE涂层。
[0007]作为对本技术所述的技术方案的一种补充，所述的过滤罐内壁上喷有PTFE涂层。
[0008]有益效果：本技术涉及一种重掺磷单晶炉炉压控制系统，具有以下几个优点：
[0009]1、添加过滤装置，使产生的挥发物均速、持久的通过管路，避免挥发物大量进入管路，局部堵塞或引起炉压波动；
[0010]2、增加管路吹气，使磷的挥发物氧化，改变其特性，不易黏附；
[0011]3、过滤网罩表面以及过滤罐内壁均喷有PTFE涂层，使挥发物不易黏附；
[0012]4、增加定期清洗装置，对部件定期冲洗，清洁部件。
附图说明
[0013]图1是本技术的结构示意图；
[0014]图2是本技术所述的过滤装置的内部结构示意图。
[0015]图示：1、定时器，2、水阀，3、过滤装置，4、流量计，5、阀门，6、进气管，7、输出管路，8、过滤罐，9、过滤网罩，10、出气口，11、进气口。
具体实施方式
[0016]下面结合具体实施例，进一步阐述本技术。应理解，这些实施例仅用于说明本技术而不用于限制本技术的范围。此外应理解，在阅读了本技术讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本技术作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。
[0017]本技术的实施方式涉及一种重掺磷单晶炉炉压控制系统，如图1
‑
2所示，包括过滤装置3，所述的过滤装置3的进口端连接有进气管6，该进气管6上设置有流量计4和阀门5，流量计用于显示管路吹气气流量的大小，使引入的气流量不至于影响到生长室内的压力变化，阀门5用于控制气流量的开关和调节大小，所述的过滤装置3的出口端连接有输出管路7，该输出管路7上设置有水阀2以及控制水阀2的定时器1。水阀2一端连接冲洗水管，冲洗水管给输出管路7供水。
[0018]所述的过滤装置3包括过滤罐8和过滤网罩9，所述的过滤罐8的两侧分别开设有进气口11和出气口10，该过滤罐8的内部安装有过滤网罩9，所述的进气口11一端与过滤网罩9连通，该进气口11另一端与进气管6相连，所述的出气口10一端与输出管路7相连；过滤罐8下部的内壁与过滤网罩9形成过滤腔，进气口11一端与过滤腔连通。
[0019]气体从过滤罐8一侧进入，经过内部过滤网罩9后，从另一侧抽出，过滤掉大颗粒的挥发物，只有小颗粒的挥发物可通过。同时在过滤网罩9表面和过滤罐8内壁上均喷有PTFE涂层，降低其表面张力，使氧化物不易粘附。
[0020]过滤装置3其原理就像是一个稳压罐，使生产过程中产生的较大颗粒的挥发物，暂时存储在过滤装置3内部，在之后的时间内均匀、持续的释放，避免由于生产过程中，挥发物产生的不均匀，造成管路堵塞程度不同，而引起炉腔内部压力的波动。
[0021]若前面的手段无法杜绝挥发物的黏附，还是会造成管路的堵塞，则对管路进行定期清洗，这个功能用定时器1和水阀2来实现。水阀2用于控制清洗水的开关；定时器1用于控制清洗管路的时间间隔和清洗时长。清洗时长关系到炉腔内压力的波动大小，故需用定时器来精准控制冲洗的时间，以防起到反效果。
[0022]在本技术的描述中，需要理解的是，方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术保护范围的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。
[0023]为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在
……
之上”、“在
……
上方”、“在
……
上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下
方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在
……
上方”可以包括“在
……
上方”和“在
……
下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述做出相应解释。
[0024]此外，需要说明的是，使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件，仅仅是为了便于对相应零部件进行区别，如没有另行声明，上述词语并没有特殊含义，因此不能理解为对本技术保护范围的限制。
[0025]以上对本申请所提供的一种重掺磷单晶炉炉压控制系统，进行了详细介绍，本文中应用了具体例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本申请的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种重掺磷单晶炉炉压控制系统，包括过滤装置(3)，其特征在于：所述的过滤装置(3)的进口端连接有进气管(6)，该进气管(6)上设置有流量计(4)和阀门(5)，所述的过滤装置(3)的出口端连接有输出管路(7)，该输出管路(7)上设置有水阀(2)以及控制水阀(2)的定时器(1)。2.根据权利要求1所述的一种重掺磷单晶炉炉压控制系统，其特征在于：所述的过滤装置(3)包括过滤罐(8)和过滤网罩(9)，所述的过滤罐(8)的两侧分别开设有进...

【专利技术属性】
技术研发人员：程建国，梁兴勃，龚益峰，郑铁波，王体俊，李滨，王少辉，范宋杰，牛鹏举，严锦堂，
申请(专利权)人：浙江金瑞泓科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：