一种高温扩散炉用大口径石英玻璃管制造技术

一种高温扩散炉用大口径石英玻璃管，包括双层石英管体，内外层石英管之间形成一个空腔，所述空腔被隔断平均分成左右两份，双层石英管体的一端开口设置，另一端封闭设置并连接有进气管口、排气管口和热电偶管口，进气管口、排气管口和热电偶管口内可分别插置进气管、排气管和热电偶管，所述进气管和排气管分别通向左右空腔，热电偶通向内层石英管内，内层石英管管壁设有水平通气孔，内层石英管内通过通气孔与空腔连通。本发明专利技术专利提供一种高温扩散炉用大口径石英玻璃管，一方面使得工艺气体扩散均匀，有助于改善硅片片内和片间的方阻均匀性，另一方面由于内层石英玻璃管内仅有热电偶，减少了其他因素对测温的影响，提高了测温准确性。准确性。准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种高温扩散炉用大口径石英玻璃管


[0001]本专利技术涉及一种石英管应用
，特别是一种高温扩散炉用大口径石英玻璃管。

技术介绍

[0002]光伏产业面临的重要问题之一是如何在保证电池高转换效率前提下提高产能。扩散制作p
‑
n结是晶体硅太阳电池的核心，是电池质量好坏的关键之一。对于扩散工序而言，确保高效电池的高产能面临的最大问题在于如何保障扩散的均匀性。扩散均匀性好的电池，其后续工艺参数可控性高，可以较好地保证电池电性能和参数的稳定性。此外，在扩散工艺中温度要保持在某特定区间，因此对热电偶测温的准确性也有一定的要求。现有的扩散炉用石英玻璃管始终存在以下问题：工艺气体从石英管的一端进入，再从另一端排出，这样就会导致在石英管尾端的进气处工艺气体中所需要反应的气体含量高，则该部分硅片的磷、硼元素扩散效果好，而随着工艺气体在石英管中的径向流动，所需反应气体的浓度不断降低，就会导致排气口附近的硅片扩散效果差，降低了整个石英玻璃管中硅片的扩散均匀性。

技术实现思路

[0003]本专利技术要解决的技术问题是针对现有技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高温扩散炉用大口径石英玻璃管，其特征在于：包括双层石英管体，所述双层石英管体包括内层石英管和外层石英管，所述内外层石英管之间形成一个空腔，所述空腔被隔断平均分成左右两份，双层石英管体的一端开口设置，另一端封闭设置并连接有进气管口、排气管口和热电偶管口，进气管口、排气管口和热电偶管口内可分别插置进气管、排气管和热电偶管，所述进气管和排气管分别通向左右空腔，热电偶通向内层石英管内，内层石英管管壁设有水平通气孔，内层石英管内通过通气孔与空...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐源，徐煜清，徐传龙，冯维娥，
申请(专利权)人：江苏弘扬石英制品有限公司，
类型：发明
国别省市：