一种单晶炉用的高精度大扭矩的蝶阀控制结构制造技术

技术编号:37639263 阅读:10 留言:0更新日期:2023-05-25 10:06
本实用新型专利技术涉及一种单晶炉用的高精度大扭矩的蝶阀控制结构,包括蝶阀以及安装在蝶阀上方的安装板,安装板上端安装有基座,基座上端安装有步进电机,步进电机输出轴的下端竖直穿过基座并安装有驱动齿轮,蝶阀上设有控制开度的阀杆,阀杆的上端穿过安装板与基座转动连接,阀杆上位于装板与基座之间安装有齿轮盘,齿轮盘与驱动齿轮啮合。本实用新型专利技术采用大扭力高精度的步进电机与蝶阀相配合,通过信号指令控制阀杆进行转动,阀杆转动实现调节蝶阀的开度,这样不会因为炉子运行过程中吸附在管壁、蝶阀上的氧化物的沉积,对其转动产生任何的影响;即便单晶炉运行的时间再长,蝶阀上的氧化物也会在大扭矩高精度的步进电机的动作下脱落,被抽气管道吸走。被抽气管道吸走。被抽气管道吸走。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉用的高精度大扭矩的蝶阀控制结构


[0001]本技术涉及重掺单晶炉
,特别是涉及一种单晶炉用的高精度大扭矩的蝶阀控制结构。

技术介绍

[0002]现有的重掺单晶炉在单晶拉制过程中,经常会出现拉晶过程中炉压比较高使得机械结构卡死的现象,需要机械人员去转动蝶阀上的阀杆,防止阀杆上积累更多灰尘,会出现蝶阀卡死的情况造成炉压不随工艺调节的情况。因此有必要设计一种配套的蝶阀控制结构。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题是提供一种单晶炉用的高精度大扭矩的蝶阀控制结构,采用大扭力高精度的步进电机与蝶阀相配合,通过信号指令控制阀杆进行转动,阀杆转动实现调节蝶阀的开度,这样不会因为炉子运行过程中吸附在管壁、蝶阀上的氧化物的沉积,对其转动产生任何的影响。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:提供一种单晶炉用的高精度大扭矩的蝶阀控制结构,包括蝶阀以及安装在蝶阀上方的安装板,所述的安装板上端安装有呈n形的基座,该基座上端安装有步进电机,所述的步进电机输出轴的下端竖直穿过基座并安装有驱动齿轮,所述的蝶阀上设有控制开度的阀杆,该阀杆的上端穿过安装板与基座转动连接,所述的阀杆上位于装板与基座之间安装有齿轮盘,该齿轮盘与驱动齿轮啮合。
[0005]作为对本技术所述的技术方案的一种补充,所述的蝶阀上配备有抽气管道,该抽气管道的管径大于阀杆的直径。
[0006]作为对本技术所述的技术方案的一种补充,所述的基座下端安装有与齿轮盘相连的电位器。
[0007]作为对本技术所述的技术方案的一种补充,所述的齿轮盘的边缘处竖直安装有一限位螺栓,所述的安装板上端位于阀杆的前后两侧各安装有一与限位螺栓配合的微动开关。
[0008]作为对本技术所述的技术方案的一种补充,所述的基座上端的四个角落处均安装有一长螺栓,该长螺栓下端与安装板相连。
[0009]有益效果:本技术涉及一种单晶炉用的高精度大扭矩的蝶阀控制结构,采用大扭力高精度的步进电机与蝶阀相配合,通过信号指令控制阀杆进行转动,阀杆转动实现调节蝶阀的开度,这样不会因为炉子运行过程中吸附在管壁、蝶阀上的氧化物的沉积,对其转动产生任何的影响;即便单晶炉运行的时间再长,蝶阀上的氧化物也会在大扭矩高精度的步进电机的动作下脱落,被抽气管道吸走;设置电位器为第一重位置把控,两个微动开关与限位螺栓配合为第二重位置把控,本技术控制位置更加精准,提高了单晶炉炉压的稳定性。
附图说明
[0010]图1是本技术的结构示意图。
[0011]图示:1、蝶阀,2、安装板,3、基座,4、步进电机,5、驱动齿轮,6、阀杆,7、微动开关,8、齿轮盘,9、电位器,10、限位螺栓,11、长螺栓。
具体实施方式
[0012]下面结合具体实施例,进一步阐述本技术。应理解,这些实施例仅用于说明本技术而不用于限制本技术的范围。此外应理解,在阅读了本技术讲授的内容之后,本领域技术人员可以对本技术作各种改动或修改,这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。
[0013]本技术的实施方式涉及一种单晶炉用的高精度大扭矩的蝶阀控制结构,如图1所示,包括蝶阀1以及安装在蝶阀1上方的安装板2,所述的安装板2上端安装有呈n形的基座3,该基座3上端安装有步进电机4,所述的步进电机4输出轴的下端竖直穿过基座3并安装有驱动齿轮5,所述的蝶阀1上设有控制开度的阀杆6,该阀杆6的上端穿过安装板2与基座3转动连接,所述的阀杆6上位于装板2与基座3之间安装有齿轮盘8,该齿轮盘8与驱动齿轮5啮合;步进电机4控制驱动齿轮5转动,驱动齿轮5与齿轮盘8啮合,齿轮盘8转动带着阀杆6一起转动,实现阀杆6调节。
[0014]所述的蝶阀1上配备有抽气管道,该抽气管道的管径大于阀杆6的直径。
[0015]所述的步进电机1采用的是大扭力高精度步进电机,本技术采用大扭力高精度的步进电机1与蝶阀1相配合,通过信号指令控制阀杆6进行转动,阀杆6转动实现调节蝶阀1的开度,这样不会因为炉子运行过程中吸附在管壁、蝶阀上的氧化物的沉积,对其转动产生任何的影响。即便单晶炉运行的时间再长,蝶阀上的氧化物也会在大扭矩高精度的步进电机1的动作下脱落,被抽气管道吸走。
[0016]所述的基座3下端安装有与齿轮盘8相连的电位器9;通过电位器9检测出齿轮盘8转动的周长结合齿轮盘8的尺寸可以计算出齿轮盘8转动的角度。
[0017]所述的齿轮盘8的边缘处竖直安装有一限位螺栓10,所述的安装板2上端位于阀杆6的前后两侧各安装有一与限位螺栓10配合的微动开关7;通过两个微动开关7与限位螺栓10配合,实现齿轮盘8只能在有限的范围内进行转动。
[0018]设置电位器9为第一重位置把控,两个微动开关7与限位螺栓10配合为第二重位置把控,本技术控制位置更加精准,提高了单晶炉炉压的稳定性。
[0019]所述的基座3上端的四个角落处均安装有一长螺栓11,该长螺栓11下端与安装板2相连。
[0020]所述的步进电机4、电位器9以及微动开关7均与控制显示屏相连,通过控制显示屏对各部件进行操控,且配备有电线与外接电源相连,实现供电。
[0021]在本技术的描述中,需要理解的是,方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,在未作相反说明的情况下,这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术保护范围的限制;方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮
廓的内外。
[0022]为了便于描述,在这里可以使用空间相对术语,如“在
……
之上”、“在
……
上方”、“在
……
上表面”、“上面的”等,用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是,空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如,如果附图中的器件被倒置,则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而,示例性术语“在
……
上方”可以包括“在
……
上方”和“在
……
下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位),并且对这里所使用的空间相对描述做出相应解释。
[0023]此外,需要说明的是,使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件,仅仅是为了便于对相应零部件进行区别,如没有另行声明,上述词语并没有特殊含义,因此不能理解为对本技术保护范围的限制。
[0024]以上对本申请所提供的一种单晶炉用的高精度大扭矩的蝶阀控制结构,进行了详细介绍,本文中本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用的高精度大扭矩的蝶阀控制结构,包括蝶阀(1)以及安装在蝶阀(1)上方的安装板(2),其特征在于:所述的安装板(2)上端安装有呈n形的基座(3),该基座(3)上端安装有步进电机(4),所述的步进电机(4)输出轴的下端竖直穿过基座(3)并安装有驱动齿轮(5),所述的蝶阀(1)上设有控制开度的阀杆(6),该阀杆(6)的上端穿过安装板(2)与基座(3)转动连接,所述的阀杆(6)上位于装板(2)与基座(3)之间安装有齿轮盘(8),该齿轮盘(8)与驱动齿轮(5)啮合。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用的高精度大扭矩的蝶阀控制结构,其特征在于:所述的蝶阀(1)上配备有抽气管道,该抽...

【专利技术属性】
技术研发人员:龚益峰梁兴勃王少辉范宋杰王国有李滨
申请(专利权)人:浙江金瑞泓科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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