一种压缩空气式喷砂机的控制系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种压缩空气式喷砂机的控制系统，包括空气源、压缩空气分路器和电气比例阀，所述的空气源的出气口通过管道与压缩空气分路器进气口相连，所述的压缩空气分路器有若干个出气口，每个出气口通过管道与电气比例阀的进口相连，所述的电气比例阀的出口通过管道与防逆压阀的进口相连，所述的防逆压阀的出口与喷枪对接，所述的电气比例阀的控制端与电气控制模块相连。本实用新型专利技术具有提高生产效率、降低检修难度、提供产品质量等特点。提供产品质量等特点。提供产品质量等特点。

【技术实现步骤摘要】
一种压缩空气式喷砂机的控制系统


[0001]本技术涉及半导体材料处理
，特别是涉及一种压缩空气式喷砂机的控制系统。

技术介绍

[0002]金属沾污在半导体器件生产过程中是无处不在的，工业上通常利用物理方法或硅中氧固有的性质吸除表面金属沾污。我们采用喷砂法使硅片背面形成软损伤，从而实现其金属吸除性能。湿式喷砂法是一种比较常见的背面软损伤工艺，该工艺采用一定粒径的颗粒状物质(如Al2O3)与水混合形成的砂浆，利用压缩空气气压带动砂浆对移动中的传送带上的硅片进行喷砂，以达到在硅片背面形成“软”损伤的方法。通过对气压的大小、砂浆浓度、传送带的速度以及喷枪摆动速度的改变，来控制硅片背面“软”损伤的程度，以达到使硅片具有吸杂能力又不致因机械损伤过大而带来其它负面效应。
[0003]根据不同的产品，调节空气压力值，可达到各种损伤需求。但在实际使用过程中，压缩管道压力分布不均，使用时厂务压力波动，管道破损，脱落，等故障不能及时发现，造成硅片表面损伤效果不一致。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题是提供一种压缩空气式喷砂机的控制系统，具有提高生产效率、降低检修难度、提供产品质量等特点。
[0005]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种压缩空气式喷砂机的控制系统，包括空气源、压缩空气分路器和电气比例阀，所述的空气源的出气口通过管道与压缩空气分路器进气口相连，所述的压缩空气分路器有若干个出气口，每个出气口通过管道与电气比例阀的进口相连，所述的电气比例阀的出口通过管道与防逆压阀的进口相连，所述的防逆压阀的出口与喷枪对接，所述的电气比例阀的控制端与电气控制模块相连。
[0006]本技术方案中通过安装压缩空气分路器，从而实现将空气源进行分流，使得装置具有多个出气口，从而使得工厂能够使用多个喷枪进行操作，大大提高生产效率，同时在每个出气管道上均安装上电气比例阀，从而实现各个喷枪的单独控制，保证喷枪能够根据情况进行气压调节，通过设置防逆压阀，避免气体回流，影响设备，确保设备使用安全。
[0007]作为对本技术方案的一种补充，所述的电气比例阀和防逆压阀之间的管道上安装有空气流量计。
[0008]本技术方案中通过设置空气流量计对各个管道的空气流量进行检测。
[0009]作为对本技术方案的一种补充，所述的防逆压阀和空气流量计之间的管道上安装有压力表。
[0010]本技术方案设置压力表用来对各个管道内的压力进行实时检测。
[0011]作为对本技术方案的一种补充，所述的空气流量计上均设置有第一A/D模块，所述的压力表上也均设置有第二A/D模块，通过设置第一A/D模块和第二A/D模块将空气流量计
和压力表上的参数进行数据化，方便传导。
[0012]作为对本技术方案的一种补充，所述的第一A/D模块和第二A/D模块均与电气控制模块相连，通过第一A/D模块和第二A/D模块将流量参数和压力参数的数据传导到电气控制模块内，并将该数据与输入值进行对比，方便控制电气比例阀进行工作。
[0013]有益效果：本技术涉及一种压缩空气式喷砂机的控制系统，通过安装压缩空气分路器(2)，从而实现将空气源进行分流，使得装置具有多个出气口，从而使得工厂能够使用多个喷枪进行操作，大大提高生产效率，同时在每个出气管道上均安装上电气比例阀(3)，从而实现各个喷枪的单独控制，保证喷枪能够根据情况进行气压调节，通过设置防逆压阀(9)，避免气体回流，影响设备，确保设备使用安全，具有提高生产效率、降低检修难度、提供产品质量等特点。
附图说明
[0014]图1是本技术的结构视图；
[0015]图2是本技术的结构框图。
[0016]图示：1、空气源，2、压缩空气分路器，3、电气比例阀，4、电气控制模块，5、第一A/D模块，6、第二A/D模块，7、空气流量计，8、压力表，9、防逆压阀，10、喷枪。
具体实施方式
[0017]下面结合具体实施例，进一步阐述本技术。应理解，这些实施例仅用于说明本技术而不用于限制本技术的范围。此外应理解，在阅读了本技术讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本技术作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。
[0018]本技术的实施方式涉及一种压缩空气式喷砂机的控制系统，如图1—2所示，包括空气源1、压缩空气分路器2和电气比例阀3，所述的空气源1的出气口通过管道与压缩空气分路器2进气口相连，所述的压缩空气分路器2有若干个出气口，每个出气口通过管道与电气比例阀3的进口相连，所述的电气比例阀3的出口通过管道与防逆压阀9的进口相连，所述的防逆压阀9的出口与喷枪10对接，所述的电气比例阀3的控制端与电气控制模块4相连。
[0019]本技术方案中通过安装压缩空气分路器2，从而实现将空气源进行分流，使得装置具有多个出气口，从而使得工厂能够使用多个喷枪进行操作，大大提高生产效率，同时在每个出气管道上均安装上电气比例阀3，从而实现各个喷枪的单独控制，保证喷枪能够根据情况进行气压调节，通过设置防逆压阀9，避免气体回流，影响设备，确保设备使用安全。
[0020]作为对本技术方案的一种补充，所述的电气比例阀3和防逆压阀9之间的管道上安装有空气流量计7。
[0021]本技术方案中通过设置空气流量计7对各个管道的空气流量进行检测。
[0022]作为对本技术方案的一种补充，所述的防逆压阀9和空气流量计7之间的管道上安装有压力表8。
[0023]本技术方案设置压力表8用来对各个管道内的压力进行实时检测。
[0024]作为对本技术方案的一种补充，所述的空气流量计7上均设置有第一A/D模块5，所
述的压力表8上也均设置有第二A/D模块6，通过设置第一A/D模块5和第二A/D模块6将空气流量计7和压力表8上的参数进行数据化，方便传导。
[0025]作为对本技术方案的一种补充，所述的第一A/D模块5和第二A/D模块6均与电气控制模块4相连，通过第一A/D模块5和第二A/D模块6将流量参数和压力参数的数据传导到电气控制模块4内，并将该数据与输入值进行对比，方便控制电气比例阀3进行工作。
[0026]如图2所示，装置启动时，通过电气控制单元来控制输入气源的气压强度以及气体流量，砂浆与气压同时进入到喷枪10内，之后工人可以通过喷枪10对材料进行表面处理。
[0027]当需要调节气流量和气压强度时，能够通过电气控制单元来控制电气比例阀3，使得管道内的气压和气流发生改变，空气流量计7和压力表8测得参数能够直接反馈给工人，使得工人能够及时判断，电气比例阀3是否调节到位，同时也能够检测到整个系统是否出现故障，大大方便了工人的检修，数字化的控制能够大大提高产品的加工质量。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压缩空气式喷砂机的控制系统，其特征在于：包括空气源(1)、压缩空气分路器(2)和电气比例阀(3)，所述的空气源(1)的出气口通过管道与压缩空气分路器(2)进气口相连，所述的压缩空气分路器(2)有若干个出气口，每个出气口通过管道与电气比例阀(3)的进口相连，所述的电气比例阀(3)的出口通过管道与防逆压阀(9)的进口相连，所述的防逆压阀(9)的出口与喷枪(10)对接，所述的电气比例阀(3)的控制端与电气控制模块(4)相连。2.根据权利要求1所述的一种压缩空气式喷砂机的控制系统，其特征在于：所述的电气比例阀(3)...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘建平，梁兴勃，马天扬，张海英，张科峰，肖宏武，
申请(专利权)人：浙江金瑞泓科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：