【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于重掺硼或磷直拉硅单晶的掺杂装置,其特征在于:所述的用于重掺硼或磷直拉硅单晶的掺杂装置由耐高温石英玻璃制成阶梯型倒置杯状体,从上到下分为固定腔(1)、置放腔(2)、扩散腔(3)三部分,固定腔(1)、置放腔(2)为直径较小的圆筒部分,固定腔(1)顶部四周留有数个小孔(1‑1)用于与直拉硅单晶生长炉内的挂钩连接,置放腔(2)与固定腔(1)之间有一块石英玻璃片(4)相隔绝,扩散腔(3)为直径稍大于固定腔(1)、置放腔(2)直径的开口圆筒,置放腔(2)和扩散腔(3)连接部位有三个L型卡槽(5),用于固定嵌入的硅片(7)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:莫宇,李春龙,吕菲,
申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第四十六研究所,
类型:新型
国别省市:天津;12
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