多晶硅铸锭炉制造技术

技术编号:8199578 阅读:263 留言:0更新日期:2013-01-10 17:07
本实用新型专利技术公开了一种多晶硅铸锭炉,其包括炉体、由炉体围设形成的炉室、置于所述炉室内并用于放置坩埚的热交换台、向所述坩埚内充气的充气管及分别对所述坩埚进行加热的顶部加热器和侧部加热器,所述顶部加热器设置于所述坩埚的上侧,所述侧部加热器设置于所述坩埚的侧边,所述多晶硅铸锭炉还包括设置于所述顶部加热器与所述坩埚之间的热屏。热屏可以明显减弱高温腐蚀气体对顶部加热器的直接冲刷,从而保护顶部加热器,以延长多晶硅铸锭炉的寿命,同时热屏还能够减少顶部加热器石墨挥发物进入硅液,从而降低铸锭硅的碳含量,以提高铸锭硅的品质。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

多晶娃铸锭炉
本技术涉及多晶硅
,尤其是指一种多晶硅铸锭炉
技术介绍
太阳能光伏发电是可持续能源利用的形式之一,近年来在各国都得到了迅速的发展。目前,应用最为普遍的是晶体硅太阳能电池,晶体硅太阳能电池主要由单晶硅片或多晶硅片制成。世界光伏产业中多晶硅片以产能 高、能耗低、成本低占据太阳能电池的主导地位,铸锭炉正是生产多晶硅硅锭的核心制造设备。常见的多晶硅铸锭炉一般包括炉室、置于炉室内并用于放置一坩埚的热交换台以及分别用于对坩埚加热的顶部加热器和侧部加热器。顶部加热器设置于坩埚的顶部,侧部加热器设置于坩埚的侧部,顶部加热器和侧部加热器均对坩埚进行加热。然而,在铸锭过程中高温阶段的高腐蚀性气体将从坩埚侧板处流出,并直接冲刷顶部加热器的边缘,进而损坏顶部加热器的边缘,尤其是随着热场的不断扩大,这种损坏将变得越来越严重,从而减少多晶硅铸锭炉的寿命。
技术实现思路
基于此,有必要提供一种具有较长寿命的多晶娃铸锭炉。一种多晶硅铸锭炉,其包括炉体、由炉体围设形成的炉室、置于所述炉室内并用于放置坩埚的热交换台、向所述坩埚内充气的充气管及分别对所述坩埚进行加热的顶部加热器和侧部加热器,所述顶部本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶硅铸锭炉,其包括炉体、由炉体围设形成的炉室、置于所述炉室内并用于放置坩埚的热交换台、向所述坩埚内充气的充气管及分别对所述坩埚进行加热的顶部加热器和侧部加热器,所述顶部加热器设置于所述坩埚的上侧,所述侧部加热器设置于所述坩埚的侧边,其特征在于:所述多晶硅铸锭炉还包括设置于所述顶部加热器与所述坩埚之间的热屏。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:杨细全胡亚兰周之燕
申请(专利权)人:江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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