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本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉,其包括炉体、由炉体围设形成的炉室、置于所述炉室内并用于放置坩埚的热交换台、向所述坩埚内充气的充气管及分别对所述坩埚进行加热的顶部加热器和侧部加热器,所述顶部加热器设置于所述坩埚的上侧,所述侧部加热器设置于所...该专利属于江苏协鑫硅材料科技发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏协鑫硅材料科技发展有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉,其包括炉体、由炉体围设形成的炉室、置于所述炉室内并用于放置坩埚的热交换台、向所述坩埚内充气的充气管及分别对所述坩埚进行加热的顶部加热器和侧部加热器,所述顶部加热器设置于所述坩埚的上侧,所述侧部加热器设置于所...