一种阻抗匹配飞片及其在激光驱动飞片柔性成形中的应用制造技术

本发明专利技术涉及微机电系统制造技术领域，特指一种阻抗匹配飞片及其在激光驱动飞片柔性成形中的应用。本发明专利技术以阻抗z和飞片厚度之间的关系式为依据：Z(x)=2.245+a；系数a在0.46-0.52之间，制备时使用高纯的W、Mo、Ti、Fe、Ni、A1和Cu金属粉末，将原料粉末按设计配比混合均匀后，依阻抗变化顺序层铺于石墨模具中，通过控制不同配比的粉末混合铺填来消除飞片内部阻抗值的跃变，在通有流动氢气的高温炉中进行热压烧结制得阻抗匹配飞片。使用阻抗匹配飞片对工件进行柔性冲击，与激光驱动飞片刚性冲击工件相比，冲击过程所引起工件温升大大减小，保证了加工时热敏工件的性能，避免了以往存在的工件表面烧蚀破坏或刻蚀现象，提高了工件的成形质量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微机电系统制造
，特指一种阻抗匹配飞片及其在激光驱动飞片柔性成形中的应用，能够精确复制微模具上的微细特征到微工件上，适用于微尺度下常规方法难以成形或无法成形的复杂器件的 微成形。
技术介绍
随着现代微器件需求量的不断增加，微型化成为当代科技发展的一个重要方向。微成形装置内部结构相对复杂，零件精度要求较高，传统成形方法与装置难以满足现代微零件加工的要求；同时准静态塑性微成形受到尺度效应的影响，材料成形能力下降，难以满足一些高硬度高脆性等难成形材料的加工；近年来迅速发展的激光加工技术为我们解决这一难题提供了较好的研究基础，激光加工质量好，加工精度高，与传统加工方式相比，加工质量和效率显著提高，激光加工技术日益广泛的应用在微小零件加工上。激光驱动飞片成形技术是一种新型高压高应变率成形技术，即通过激光驱动飞片加载的方式代替激光直接冲击，将激光能量转化为飞片的动能，利用激光驱动飞片高速运动，高速运动的飞片作为激光能量的载体，飞行一段距离后与工件材料发生碰撞，在碰撞界面上产生高压冲击波使材料在微型模具内产生超快塑性变形，从而实现工件的精确成形；与气体炮、爆轰驱动以及电磁驱动本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种阻抗匹配飞片，其特征在于：所述飞片的阻抗z和飞片厚度之间的关系式为：Z(x)？=？2.？245+a？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？；式中Z(x)为飞片任意厚度坐标x处的阻抗值,？系数a在0.46？0.52之间，选择W？Mo？Ti金属复合体系来制备阻抗匹配飞片，选择Fe？Al粉作为烧结助剂，同时选用Ni？Cu作为添加剂，使用高纯的W、Mo、Ti、Fe、Ni、A1和Cu金属粉末，将原料粉末按配比混合均匀后，依阻抗变化顺序层铺于石墨模具中，通过控制不同配比的粉末混合铺填来消除飞片内部阻抗值的跃变，在通有流动氢气的高温炉中进行热压烧结...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王霄，刘辉，任国栋，沈宗宝，李品，胡杨，杜道忠，张虎，高阳阳，郭朝，刘会霞，
申请(专利权)人：江苏大学，
类型：发明
国别省市：