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本发明涉及微机电系统制造技术领域，特指一种阻抗匹配飞片及其在激光驱动飞片柔性成形中的应用。本发明以阻抗z和飞片厚度之间的关系式为依据：Z(x)=2.245+a；系数a在0.46-0.52之间，制备时使用高纯的W、Mo、Ti、Fe、Ni、A1...
该专利属于江苏大学所有，仅供学习研究参考，未经过江苏大学授权不得商用。

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