一种IC 芯片测试分选机的测试抓手总成装置制造方法及图纸

技术编号:8170060 阅读:202 留言:0更新日期:2013-01-08 18:03
本实用新型专利技术公开了一种IC芯片测试分选机的测试抓手总成装置,上部总成包括连通外部气路并封装在缸筒内的活塞,套装在活塞向下延伸的活塞杆上的压缩弹簧和缸筒卡合,所述活塞杆穿出缸筒的底端并固联有下部总成,封装在外壳内并连通有外部真空接头的吸嘴杆依次包括上部杆、卡合部、下部杆,卡合部卡住外壳底端的内壁并使下部杆穿出外壳底端外壁设置的吸嘴外套,上部杆套装有压缩弹簧并和伸入外壳顶端设置的通孔中,压缩弹簧卡合住外壳顶端的内壁,使吸嘴杆可在外壳中上下移动。通过微调活塞使固装在吸料板上的吸嘴外套沿吸嘴杆向下滑动,与吸嘴一起对待测试芯片表面微微加压,从而使芯片的被测试点更可靠地与测试机的测试头接触,实现稳定可靠测试。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种IC芯片测试分选机的测试抓手总成装置,更准确地说,涉及在芯片测试过程中能对待测芯片自动抓放、温度控制、稳定加压的一种IC芯片测试分选机的测试抓手总成装置。
技术介绍
IC芯片完成加工制造工序后,需要一一进行测试,最初,人们对芯片进行测试,是靠人工进行的,不仅效率低,还容易发生错误。目前已有用测试抓手将芯片自动抓取到测试机的测试头处进行测试,但其测试抓手存在着温度控制差、测试接触不稳定等缺陷。
技术实现思路
本技术为了解决现有技术中存在的问题,提供了一种IC芯片测试分选机的测试抓手总成装置,其结构简单、紧凑,能在芯片到达测试机测试点位时进一步通过压紧力,使待测芯片测试点与测试机的测试头接触稳固。为实现上述目的,本技术的技术方案是一种IC芯片测试分选机的测试抓手总成装置,包括上部总成,所述上部总成包括连通外部气路并封装在缸筒内的活塞,套装在活塞向下延伸的活塞杆上的压缩弹簧和缸筒卡合,所述活塞杆穿出缸筒的底端并固联有下部总成,包括外壳,以及封装在外壳内并连通有外部真空接头的吸嘴杆,所述吸嘴杆包括分别位于上下两端的上部杆和下部杆,以及位于上部杆、下部杆之间的卡合部,所述卡合部卡住外壳底端的内壁并使下部杆穿出外壳底端外壁设置的吸嘴外套,所述卡合部上方的上部杆套装有压缩弹簧并和伸入外壳顶端设置的通孔中,压缩弹簧卡合住外壳顶端的内壁,使吸嘴杆可在外壳中上下移动。优选的是,所活塞通过中部设有通孔的活塞上密封盖板封装在缸筒内,固装在活塞上密封盖板上的上固定板设有气管接头,所述上固定板的内部设有连通气管接头的气体通道,所述气体通道的出口位于上固定板下端的中部,并和活塞上密封盖板的通孔连通,构成了连通活塞的外部气路。优选的是,位于下部总成之上、和活塞杆的下端还固联有一活塞杆连接过渡板,所述活塞杆连接过渡板设置有导向槽,供固装在缸筒下端的固定导向销安装板上的固定导向销穿过。优选的是,所述活塞杆连接过渡板固联一设有加热丝棒的加热板。优选的是,在所述活塞杆连接过渡板和加热板之间还设有隔热板。优选的是,所述下部总成的外壳包括固联在一起并分别作为外壳顶端、底端的吸嘴安装板、吸料板,所述上部杆套伸入吸嘴安装板设置的通孔中,所述吸嘴安装板和加热板通过卡扣固联,所述吸嘴安装板的通孔和加热板上设置的通孔连通,并与加热板上设置的真空接头构成气路。优选的是,所述吸嘴杆卡合部为呈“D”字形或扇形的不完整圆盘,所述吸料板对应地设有容纳卡合部、形状和其相配的凹槽。优选的是,所述吸嘴杆卡合部为呈“D”字形或扇形的不完整圆盘,还设有容纳在吸料板设置的凹槽中的限位盖板,所述限位盖板具有一个容纳卡合部、形状和其相配的凹槽,所述限位盖板和吸嘴安装板固联。优选的是,所述不完整圆盘上设有防旋转导向缺口,与固装在吸嘴安装板下面的防旋转导向销配合。本技术的测试抓手总成装置,具有微调加压功能,其目的是通过微调活塞使固装在吸料板上的吸嘴外套沿吸嘴杆向下滑动,与吸嘴一起对待测试芯片表面微微加压,从而使芯片的被测试点更可靠地与测试机的测试头接触,实现稳定可靠测试。而且还具有按待测试芯片测试温度要求进行加热的功能,由加热板向吸嘴安装板和吸嘴杆提供必要的温度,其必要的温度由感温头等控制。该测试抓手总成装置的真空吸嘴工作可靠,从取料到测试再到放料,真空吸嘴一直稳定吸住芯片料块,完成全部测试工作。每一个测试抓手总 成装置的吸料板的两侧均固装有测试定位套,它的目的是当测试抓手总成装置吸住待测芯 片向测试机对应测试位下降时,移动要使测试定位套与测试机上对应的定位销(或者定位针)对正,从而保证待测芯片上的测试点与测试机上对应的测试头对正。测试抓手总成装置有上部总成和下部总成组成,上部总成和下部总成之间的连接是靠安装在吸嘴安装板上的两个快速卡扣与加热板上的两个卡座来实现的,结构简单,拆卸方便。附图说明图I示出了测试抓手组合模组装置的结构示意图。图2示出了图I中前侧测试抓手组合运动模组的结构示意图。图3示出了本技术测试抓手总成装置的结构示意图。图4示出了图3中上部总成的结构示意图。图5示出了图3中下部总成的结构示意图。其中,附图1-2中的标号如下501 —竖向伺服电机、502 —横向伺服电机、503 —测试抓手总成组合连接板、51 —测试抓手总成装置、505 —横向滚轴丝杠滑块组合传动、506 一测试抓手总成组合升降滑块、507 —竖向滚轴丝杠滑块组合传动、508 —左侧安装板、509 一同步传送带、510 —左侧竖板、511 —右侧竖板、513 —连接横板、514 —连接顶板、516 —真空发生器。附图3-5中的标号如下5101 —上固定板、5102 —真空接头、5103 —加热棒、5104-感温头、5105-吸料板、5106-快速卡扣、5107-隔热板、5108-缸筒、5111-吸嘴外套、5112 —活塞杆连接过渡板、5113 —活塞、5114 —活塞上密封盖板、5115 —气管接头、5116-压缩弹簧、5117-加热板、5118-固定导向销安装板、5119-固定导向销、5120 —导向槽、5121 —卡座、5122 —吸嘴安装板、5123 —防旋转导向销、5124 —吸嘴压缩弹簧、5125 —吸嘴杆、5126 —限位盖板、5127 —测试定位套、5128 —密封圈、5129 —防旋转导向缺口、51a 一上部总成、51b —下部总成。具体实施方式以下结合附图对本技术的具体实施方式做进一步说明。本技术的“垂直导轨式地卡合”指的是两个部件之间导轨式配合,并且两个部件可相对垂直滑动。“水平导轨式地卡合”指的是两个部件之间导轨式配合,并且两个部件可相对水平滑动。本技术的测试抓手组合模组装置如图I、图2所示,该装置主要由竖向伺服电机501、横向伺服电机502、测试抓手总成组合连接板503、测试抓手总成装置51、横向滚轴丝杠滑块组合传动505、测试抓手总成组合升降滑块506、竖向滚轴丝杠滑块组合传动507、左侧安装板508、同步传送带509、左侧竖板510、右侧竖板511、连接横板513、连接顶板514、真空发生器516等组成。该装置由前、后两组结构和性能完全相同的测试抓手组合运动模组组成,前侧测试抓手组合运动模组安装在用于固定在工作台面上的左侧竖板510上,对应前侧料船装置设置,专门将前侧料船装置左料船上的芯片从左料船移入到测试机的对应测试位进行测试,测试完成后又将其放入前侧料船装置的右料船上;后侧测试抓手组合运动模组安装在用于固定在工作台面上的右侧竖板511上,对应后侧料船装置设置,专门将后侧料船装置 左料船上的芯片从左料船移入到测试机的对应测试位进行测试,测试完成后又将其放入后侧料船装置的右料船上。左侧竖板510和右侧竖板511通过一连接横板513和一连接顶板514固联在一起。其中,左侧竖板510的背面还设有真空发生器516,为测试抓手组合运动模组的吸嘴提供吸附的动力。以前侧测试抓手组合运动模组为例,说明测试抓手组合模组装置的结构组成。安装在左侧安装板508上的竖向伺服电机501,其通过同步传送带509带动固装在左侧安装板508上的竖向滚轴丝杠滑块组合传动507,从而带动竖向滚轴丝杠滑块组合传动上的测试抓手总成组合升降滑块506上下移本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种IC芯片测试分选机的测试抓手总成装置,其特征在于:包括,上部总成,包括连通外部气路并封装在缸筒内的活塞,套装在活塞向下延伸的活塞杆上的压缩弹簧和缸筒卡合,所述活塞杆穿出缸筒的底端并固联有下部总成,包括外壳,以及封装在外壳内并连通有外部真空接头的吸嘴杆,所述吸嘴杆包括分别位于上下两端的上部杆和下部杆,以及位于上部杆、下部杆之间的卡合部,所述卡合部卡住外壳底端的内壁并使下部杆穿出外壳底端外壁设置的吸嘴外套,所述卡合部上方的上部杆套装有压缩弹簧并和伸入外壳顶端设置的通孔中,压缩弹簧卡合住外壳顶端的内壁,使吸嘴杆可在外壳中上下移动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:林宜龙付义超唐召来刘飞
申请(专利权)人:格兰达技术深圳有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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