物理量传感器制造技术

本发明专利技术的目的在于提供一种能够获得高精度的物理量检测信号的物理量传感器。该物理量传感器包括：将从外部施加的物理量转换为电信号的振子、使所述振子振荡的振荡电路、基于来自所述振荡电路的检波信号对来自所述振子的被检波信号进行检波的检波电路，其中，还包括有：所述检波电路的前段处的、对来自所述振荡电路的检波信号和来自所述振子的被检波信号中任一方的信号进行Δ∑调制，并输出调制信号的Δ∑调制器；输出电压可变的可变电压源；控制所述可变电压源的输出电压的控制部，所述Δ∑调制器采用以所述输出电压为基准作成的反馈信号进行Δ∑调制。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及适用Λ Σ调制的物理量传感器。
技术介绍
作为用于车载导航·系统或机器人的姿势控制等的物理量传感器，已知有采用压电振动元件的陀螺传感器(例如，参照专利文献I)。图I为显示以往的陀螺传感器的一例的图。如图I所示，陀螺传感器I由振荡电路3和检测电路10构成，其中，振荡电路3包括具有检测电极5、6的晶体振子2，检测电路10基于检测电极5、6的检测信号检测科氏力。 检测电极5、6形成于晶体振子2的检测用枝，振荡电路3基于形成于晶体振子2的驱动用枝的驱动电极的输出进行2值化处理，输出为矩形波的检波时钟CL。晶体振子2通过振荡电路3以一定振幅持续振荡，但此时，晶体振子2以角速度ω被旋转的话，在相对晶体振子2的驱动用枝的振动方向为正交的方向上作用有与角速度ω成比例的科氏力F。通过该科氏力F的应力，晶体振子2被激发与驱动频率相等频率的振动，通过该振动，形成于检测用枝的检测电极5和6上产生压电应变效果产生的电荷。由于该产生的电荷，检测电极5和6有为微小的反相电流的检测电流Il和12流过。检测电路10的I/V转换电路11和12将该检测电流Il和12分别进行电流电压转换输出检测电压VlO和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.03.31 JP 2010-083389;2010.08.26 JP 2010-189551.一种物理量传感器，其包括将从外部施加的物理量转换为电信号的振子、使所述振子振荡的振荡电路、基于来自所述振荡电路的检波信号对来自所述振子的被检波信号进行检波的检波电路，所述的物理量传感器的特征在于，还包括 在所述检波电路的前段处的、对来自所述振荡电路的检波信号和来自所述振子的被检波信号中任一方的信号进行△ Σ调制，并输出调制信号的△ Σ调制器； 输出电压可变的可变电压源；和 控制所述可变电压源的输出电压的控制部， 所述△ Σ调制器采用以所述输出电压为基准作成的反馈信号进行△ Σ调制。2.如权利要求I所述的物理量传感器，其特征在于，进一步包括存储对应于振子的数据的存储器， 所述控制部基于所述数据控制所述可变电压源的输出电压。3.如权利要求I所述的物理量传感器，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：高濑恭英，
申请(专利权)人：西铁城控股株式会社，西铁城精技美优达株式会社，
类型：
国别省市：