【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种物理量检测器(压力传感器)。
技术介绍
作为水压计、气压计、压差计等物理量检测器(压力传感器)，已知一种如下的物理量检测器(压力传感器)，其具备根据所受到的压力而变形的隔膜、和随着隔膜的变形而受到应力的压电振子，并根据压电振子的共振频率，而对压力进行检测(例如，参照专利文献I)。例如，在专利文献I所记载的压力传感器中，隔膜在中央区域和周缘区域之间设置有可挠性的可挠区域，中央区域(位移部)根据压力而在厚度方向上位移。此外，压电振子具有:一对基部；被设置在该一对基部间的振动部。而且，一对基部在隔膜进行挠曲的方向上并排配置，且一个基部与隔膜的中央区域相连接，而另一个基部经由柱状的支承部件而与隔膜的外周区域相连接。在专利文献I所记载的压力传感器中，支承部件与压电振子一体地形成。由此，由于支承部件和压电振子由同一材料构成，因此能够降低由于支承部件和压电振子的线膨胀系数差而产生的检测压力的误差(因热变形而产生的误差)。但是，在专利文献I所记载的压力传感器中，由于支承部件与隔膜相连接，因此随着隔膜的变形，会导致支承部件的非预期的位移或变形，其结果为，存在导致...
【技术保护点】
一种物理量检测器，其特征在于，具备：受压部，其包括受到压力而发生位移的位移部、和被设置于所述位移部的外周的外周部；保持部件，其包括在俯视观察时呈圆周状的固定部、以及在俯视观察时从所述固定部的内周朝向中心而突出的突出部，所述突出部具有开口，并被配置于所述受压部的一个面侧，所述固定部对所述外周部进行保持，以便在从所述突出部侧进行俯视观察时，所述受压部的一个面侧上的、所述位移部的至少一部分存在于所述开口内，所述物理量检测器还具备：支承体，其被固定在所述突出部上；压敏元件，其包括被固定在所述位移部的所述至少一部分上的第一基部、被固定在所述支承体上的第二基部、和被设置在所述第一基部与...
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤健太，北原直树，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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