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物理量检测器制造技术
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文档序号:8713023
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本发明提供一种物理量检测器,其具有优良的检测精度。本发明的物理量检测器具备:隔膜,其具有因来自外部的压力而发生位移的位移部;保持部件,其具有对隔膜的外周部进行保持的环状的固定部、和在隔膜的一个面侧,从固定部的内周朝向而中心突出的突出部;支承...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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